[实用新型]一种电极片、载片器以及镀膜系统有效
申请号: | 202020130174.0 | 申请日: | 2020-01-20 |
公开(公告)号: | CN211848132U | 公开(公告)日: | 2020-11-03 |
发明(设计)人: | 赵赞良 | 申请(专利权)人: | 宁夏隆基乐叶科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;C23C16/509;H01L31/18 |
代理公司: | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人: | 周娟 |
地址: | 755100 宁夏回族自治区银川市经*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电极 载片器 以及 镀膜 系统 | ||
1.一种电极片,其特征在于,包括:
至少一个载片单元,每个所述载片单元的至少一个表面具有载片区域和外围区域,所述外围区域位于所述载片区域的周向;
每个所述载片单元的至少一个表面开设有用于抑制绕镀现象的至少一个槽体,所述至少一个槽体位于所述外围区域;
每个所述载片单元的同一表面中,所述槽体的槽口靠近载片区域外边缘的一侧与所述载片区域的外边缘距离d1大于或等于0。
2.根据权利要求1所述的电极片,其特征在于,每个所述载片单元的同一表面中,所述槽体的槽口靠近外围区域外边缘的一侧与所述外围区域的外边缘距离d2大于或等于0且小于d,d为所述载片区域的外边缘与所述外围区域的外边缘的距离。
3.根据权利要求1所述的电极片,其特征在于,每个所述载片单元的同一表面中,所述载片区域的外边缘与所述外围区域的外边缘的距离为d,d=d0+d1+d2,d0为所述槽体的槽口靠近载片区域外边缘的一侧与靠近外围区域外边缘的一侧的距离,d1为每个所述载片单元的同一表面中,所述槽体的槽口靠近载片区域外边缘的一侧与所述载片区域的外边缘距离,d2为每个所述载片单元的同一表面中,所述槽体的槽口靠近外围区域外边缘的一侧与所述外围区域的外边缘距离。
4.根据权利要求1所述的电极片,其特征在于,每个所述载片单元的同一表面中,所述槽体的槽口靠近载片区域的一侧与所述载片区域的外边缘距离d1=0.01mm~0.5mm;和/或,
每个所述载片单元的同一表面中,所述槽体的槽口靠近载片区域外边缘的一侧与靠近外围区域外边缘的一侧的距离d0为0.1mm-15mm。
5.根据权利要求1所述的电极片,其特征在于,每个所述载片单元的同一表面中,每个所述槽体的深度D小于所述外围区域的最大厚度T;或,
每个所述载片单元的同一表面中,每个所述槽体的深度D小于所述外围区域的最大厚度T的二分之一。
6.根据权利要求1~5任一项所述的电极片,其特征在于,所述至少一个载片单元包括至少两个载片单元;相邻两个所述载片单元的同一表面所开设的槽体连成一体;或,
所述至少一个槽体包括环状槽体,所述环状槽体绕设在所述载片区域的周向。
7.根据权利要求1~5任一项所述的电极片,其特征在于,所述至少一个槽体包括多个槽体,多个所述槽体绕设在所述载片区域的周向。
8.根据权利要求7所述的电极片,其特征在于,所述多个槽体中的至少一个为凹槽或缺口槽。
9.一种载片器,其特征在于,包括至少一个权利要求1~8任一项所述电极片。
10.一种镀膜系统,其特征在于,包括镀膜设备和权利要求9所述载片器,所述镀膜设备具有用于镀膜的镀膜腔;
所述镀膜系统处在镀膜状态时,所述载片器位于所述镀膜腔内。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的