[实用新型]多次外延超结器件结构有效
| 申请号： | 202020101584.2 | 申请日： | 2020-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN211182212U | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 朱袁正;周锦程 | 申请（专利权）人： | 无锡新洁能股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L21/336;H01L29/78 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人： | 曹祖良;涂三民 |
| 地址： | 214131 江苏省无锡市滨湖区高浪东路999号*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种多次外延超结器件结构，它包括第一导电类型硅衬底、第一导电类型外延层、第二导电类型柱、第一导电类型柱、第二导电类型体区、栅氧层、导电多晶硅、第一导电类型源区、绝缘介质、第二导电类型源区、源极金属与漏极金属。本实用新型使得多次外延超结器件的元胞宽度大幅度减小，特征导通电阻大幅度下降；其制造方法不需要较长时间的热退火，不仅节约了能源，还提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 多次 外延 器件 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡新洁能股份有限公司，未经无锡新洁能股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202020101584.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种带有避雷装置的天调保护箱
- 下一篇：一种电子价签
- 同类专利
- 专利分类
