[实用新型]一种可切换方向的真空加热探针台装置

摘要

本实用新型公开了一种可切换方向的真空加热探针台装置，包括真空腔室、位于真空腔室内部的样品台、位于真空腔室上的管道以及第一通孔和第三通孔；所述样品台为可旋转样品台，用于固定样品；所述管道为真空管道，用于抽出真空腔室空气；所述第一通孔和第三通孔位于真空腔室任意位置，第一通孔用于激光通过，第三通孔用于连接电线通过；本实用新型通过真空腔体和真空管道的配合，能够实现在真空环境下测试场效应晶体管的性能；通过气泵，能够使样品在测试过程中能水平垂直翻转；通过若干第一通孔，可以使激光进入真空腔室，能够使样品在多种光路下进行测试；通过加热盘，可以使样品在不同的温度下进行测试，使测试结果更加丰富与精准。