[实用新型]一种可切换方向的真空加热探针台装置

说明书

本实用新型公开了一种可切换方向的真空加热探针台装置，包括真空腔室、位于真空腔室内部的样品台、位于真空腔室上的管道以及第一通孔和第三通孔；所述样品台为可旋转样品台，用于固定样品；所述管道为真空管道，用于抽出真空腔室空气；所述第一通孔和第三通孔位于真空腔室任意位置，第一通孔用于激光通过，第三通孔用于连接电线通过；本实用新型通过真空腔体和真空管道的配合，能够实现在真空环境下测试场效应晶体管的性能；通过气泵，能够使样品在测试过程中能水平垂直翻转；通过若干第一通孔，可以使激光进入真空腔室，能够使样品在多种光路下进行测试；通过加热盘，可以使样品在不同的温度下进行测试，使测试结果更加丰富与精准。

技术领域

本实用新型涉及探针台领域，尤其是一种可切换方向的真空加热探针台装置。

背景技术

随着信息时代的来临，半导体材料使用的也是越来越普遍了，半导体芯片的研发生产中需要对芯片的参数进行各种测量，其中核心测试设备之一就是探针台；探针台能够测试样品的电压、电阻、载流子迁移率。

在现有的探针台中，大部分探针台不能对产品进行加热，无法测试产品在高温状态下的情况，部分探针台没有箱体结构，不能在真空环境下对产品进行监测，容易产生误差，还有部分探针台不能进行旋转，不能同时在多种类型的光源下进行测试。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：针对上述存在的问题，提供一种可切换方向的真空加热探针台装置；本实用新型解决了探针台不能在真空环境下测试的问题；解决了探针台不能加热的问题；还解决了探针台不能旋转并在多种光源下测试的问题。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种可切换方向的真空加热探针台装置，包括真空腔室、位于真空腔室内部的样品台、位于真空腔室上的管道以及第一通孔和第三通孔；所述样品台为可旋转样品台，用于固定样品；所述管道为真空管道，用于抽出真空腔室空气；所述第一通孔和第三通孔位于真空腔室任意位置，第一通孔用于激光通过，第三通孔用于连接电线通过。

进一步的，所述样品台包括气泵和加热盘；所述加热盘为真空吸盘，加热盘通过与外界气泵固定连接。

进一步的，所述气泵包括旋转盘和气缸，旋转盘分别与气缸和加热盘固定连接；所述气缸上还设置有气孔，用于控制旋转盘运动。

进一步的，所述加热盘为圆形，加热盘中心处设有第二通孔，用于真空导管通过。

进一步的，所述加热盘与旋转盘螺纹连接；旋转盘和气缸螺纹连接。

进一步的，所述真空腔室设有腔室门；所述腔室门通过卡扣进行密封固定。

进一步的，所述真空管道包括第一管道和第二管道；所述第一管道位于真空腔室外，用于抽出真空腔室中的空气；第二管道位于真空腔室内，并与位于加热盘的真空导管连接，用于通过吸附固定样品。

进一步的，所述真空管道与真空泵连接。

进一步的，所述第一通孔由透明材料密封。

进一步的，所述真空腔室上还设置有真空表，用于查看真空度。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过真空腔体和真空管道的配合，能够实现在真空环境下测试场效应晶体管的性能。

2、本实用新型通过气泵，能够使样品在测试过程中能水平垂直翻转；通过加热盘，可以使样品在不同的温度下进行测试，使测试结果更加丰富与精准。

3、本实用新型通过若干第一通孔，可以使激光进入真空腔室，能够使样品在多种光路下进行测试。

附图说明

本实用新型将通过例子并参照附图的方式说明，其中：