[实用新型]一种可切换方向的真空加热探针台装置

权利要求书

1.一种可切换方向的真空加热探针台装置，其特征在于，包括真空腔室(1)、位于真空腔室(1)内部的样品台(2)、位于真空腔室(1)上的管道以及第一通孔(4)和第三通孔(7)；所述样品台(2)为可旋转样品台(2)，用于固定样品；所述管道为真空管道(3)，用于抽出真空腔室(1)空气；所述第一通孔(4)和第三通孔(7)位于真空腔室(1)任意位置，第一通孔(4)用于激光通过，第三通孔(7)用于连接电线通过。

2.如权利要求1所述的可切换方向的真空加热探针台装置，其特征在于，所述样品台(2)包括气泵(21)和加热盘(22)；所述加热盘(22)为真空吸盘，加热盘(22)与外界气泵固定连接。

3.如权利要求2所述的可切换方向的真空加热探针台装置，其特征在于，所述气泵包括旋转盘(211)和气缸(212)，旋转盘(211)分别与气缸(212)和加热盘固定连接；所述气缸(212)上还设置有气孔(213)，用于控制旋转盘(211)运动。

4.如权利要求2所述的可切换方向的真空加热探针台装置，其特征在于，所述加热盘(22)为圆形，加热盘(22)中心处设有第二通孔(5)，用于真空导管通过。

5.如权利要求2所述的可切换方向的真空加热探针台装置，其特征在于，所述加热盘(22)与旋转盘(211)螺纹连接；旋转盘(211)和气缸(212)螺纹连接。

6.如权利要求1所述的可切换方向的真空加热探针台装置，其特征在于，所述真空腔室(1)设有腔室门(11)；所述腔室门(11)通过卡扣(12)进行密封固定。

7.如权利要求1所述的可切换方向的真空加热探针台装置，其特征在于，所述真空管道(3)包括第一管道(301)和第二管道(302)；所述第一管道(301)位于真空腔室(1)外，用于抽出真空腔室(1)中的空气；第二管道(302)位于真空腔室(1)内，并与位于加热盘(22)的真空导管连接，用于通过吸附固定样品。

8.如权利要求7所述的可切换方向的真空加热探针台装置，其特征在于，所述真空管道(3)与真空泵连接。

9.如权利要求1所述的可切换方向的真空加热探针台装置，其特征在于，所述第一通孔(4)由透明材料密封。

10.如权利要求1所述的可切换方向的真空加热探针台装置，其特征在于，所述真空腔室(1)上还设置有真空表(6)，用于查看真空度。