[实用新型]一种碳化硅沉积的进气系统

摘要

本实用新型提供一种碳化硅沉积的进气系统，属于化学气相沉积设备技术领域，该进气系统包括罐体、氢气源、第一管路、氩气源、第二管路、第三管路和储存MTS的储液罐，罐体分别通过第一管路、第二管路、第三管路与氢气源、氩气源以及储液罐连通；还包括软管和水源，软管的进水口和出水口分别通过进水管和出水管与水源连通；软管的管壁上固接第一水袋和第二水袋，软管的管壁上设有连通第一水袋的第一通孔和连通第二水袋的第二通孔，第一水袋和第二水袋上分别设有第一座和第二座，第一座和第二座连接时，第一水袋、第二水袋以及软管组成环体，第三管路置于环体的内环孔中。该碳化硅沉积的进气系统可以避免第三管路中的MTS液化，保证沉积出的碳化硅质量。