[实用新型]一种碳化硅沉积的进气系统

权利要求书

1.一种碳化硅沉积的进气系统，其特征在于，包括：

罐体、氢气源和第一管路，所述第一管路连通所述罐体和所述氢气源；

氩气源和第二管路，所述第二管路连通所述罐体和所述氩气源；

第三管路和储存MTS的储液罐，所述第三管路连通所述罐体和所述储液罐；

还包括软管和水温可调的水源，所述水源中安装有泵体，所述软管的进水口通过进水管与所述泵体的出水端连通，所述软管的出水口通过出水管与所述水源连通；

所述软管的管壁上固接有第一水袋和第二水袋，所述软管的管壁上设有第一通孔和第二通孔，所述第一通孔连通所述第一水袋和所述软管，所述第二通孔连通所述第二水袋和所述软管；

所述第一水袋远离所述软管的一端设有第一座，所述第二水袋远离所述软管的一端设有第二座，所述第一座和所述第二座可拆卸地固接在一起，所述第一水袋、所述第二水袋以及所述软管组成环体，所述第三管路置于所述环体的内环孔中。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅沉积的进气系统，其特征在于：所述第一座内设有贯穿该第一座左侧壁和底壁的第一流道，所述第一流道内安装有气门芯，所述第一水袋上设有第三通孔，所述第三通孔连通所述第一流道与所述第一水袋；

所述第二座内设有贯穿该第二座右侧壁和底壁的第二流道且该第二座上设有与该第二流道连通的针头，所述第二水袋上设有第四通孔，所述第四通孔连通所述第二流道和所述第二水袋；

所述针头插在所述气门芯内。

3.根据权利要求2所述的一种碳化硅沉积的进气系统，其特征在于：所述第一座为壳体，所述第一流道的一端与所述第一座左侧壁之间具有间隙，所述第二座的右侧壁上设有与所述针头同轴的方块，当所述第一座和所述第二座连接在一起时，所述方块插在所述间隙里面并通过设于所述第一座内的防脱结构进行限位。

4.根据权利要求3所述的一种碳化硅沉积的进气系统，其特征在于：所述防脱结构包括L型块、转轴、方型块和伸缩轴，所述方块上表面设有方型通槽，所述L型块的转角处通过所述转轴铰接在所述第一座的前侧壁上且所述方型块设于所述L型块靠近所述第一座左侧壁的一端，所述方型块垂直所述L型块，当所述第一座和所述第二座连接在一起时，所述方型块置于所述方型通槽内；

所述第一座的右侧贯通，还包括门板，所述门板盖合在所述第一座的右侧并通过螺钉紧固，所述门板上设有第五通孔，所述伸缩轴插接在所述第五通孔中且该伸缩轴的两端均伸出所述第五通孔，所述伸缩轴位于所述第一座内的一端顶在所述L型块的另一端。

5.根据权利要求4所述的一种碳化硅沉积的进气系统，其特征在于：所述L型块的另一端具有与所述门板平行的a面，所述伸缩轴顶在所述a面上。

6.根据权利要求5所述的一种碳化硅沉积的进气系统，其特征在于：所述伸缩轴位于所述第一座外的一端还设有头部，所述头部远离所述伸缩轴的一端表面为弧面。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的一种碳化硅沉积的进气系统，其特征在于：所述进水管靠近所述软管的位置设有第一温度计，所述出水管靠近所述软管的位置设有第二温度计。

8.根据权利要求2-6中任一项所述的一种碳化硅沉积的进气系统，其特征在于：所述第三通孔的孔径等于所述第一通孔的孔径，所述第二通孔的孔径等于所述第四通孔的孔径，并且所述第一通孔的孔径大于所述第二通孔的孔径。

9.根据权利要求1-6中任一项所述的一种碳化硅沉积的进气系统，其特征在于：所述软管和所述第一水袋以及所述第二水袋均是由橡胶制成的结构件。

10.根据权利要求1-6中任一项所述的一种碳化硅沉积的进气系统，其特征在于：所述第一座和所述第二座的顶壁均是平面。