[发明专利]晶体生长炉的装料称重装置及其称量方法有效
| 申请号： | 202011629230.6 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112834003B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 丁春雷;张兆新 | 申请（专利权）人： | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01G13/295 | 分类号： | G01G13/295;G01G23/16 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张文姣 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶体生长炉的装料称重装置及其称量方法，晶体生长炉的装料称重装置包括箱体、称重组件和导向机构，称重组件的至少部分位于安装空间外，称重组件包括承载平台和称重单元，承载平台通过升降机构可上下移动地设在箱体上，且与升降机构可分离地配合，称重单元用于称量承载平台上的承载重量以输出称重信息，导向机构设置在承载平台和箱体之间，导向机构包括滑轨和滑块，滑轨设在箱体上且沿上下方向延伸，滑块设在承载平台上且与滑轨滑动配合。根据本发明的晶体生长炉的装料称重装置，可以在晶体生长炉装料过程中实现对物料的准确称量，尤其可以满足较大质量/体积的原料的精准测量，且提升了装料效率，避免了物料的二次污染。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体生长 装料 称重 装置 及其 称量 方法 | ||
【主权项】：
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