[发明专利]晶体生长炉的装料称重装置及其称量方法有效
申请号: | 202011629230.6 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN112834003B | 公开(公告)日: | 2023-03-28 |
发明(设计)人: | 丁春雷;张兆新 | 申请(专利权)人: | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 |
主分类号: | G01G13/295 | 分类号: | G01G13/295;G01G23/16 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 张文姣 |
地址: | 221004 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶体生长 装料 称重 装置 及其 称量 方法 | ||
1.一种晶体生长炉的装料称重装置,其特征在于,所述装料称重装置用于装料过程中对物料的称量,且所述装料称重装置包括:
箱体,所述箱体内限定出安装空间,所述安装空间的一侧具有开口;
称重组件,所述称重组件设在所述开口处且所述称重组件的至少部分位于所述安装空间外,所述称重组件包括承载平台和称重单元,所述承载平台适于承载所述晶体生长炉的装料组件,所述承载平台通过升降机构可上下移动地设在所述箱体上,且与所述升降机构可分离地配合,且在所述承载平台与所述升降机构分离时,所述称重单元支撑承载平台以用于称量所述承载平台上的承载重量并输出称重信息,所述承载平台包括安装板和称重托盘,所述安装板通过所述升降机构设在所述箱体上,且所述安装板悬臂安装在所述开口处,所述称重托盘设在所述安装板上,所述称重托盘上设有防滑垫,且所述称重托盘周边设有防撞条,所述装料称重装置构造成所述称重单元称量时能向所述装料组件内装入物料,直至所述装料组件内的物料的重量达到设定称重信息对应的数值;
导向机构,所述导向机构设置在所述承载平台和所述箱体之间,所述导向机构包括滑轨和滑块,所述滑轨设在所述箱体上且沿上下方向延伸,所述滑块设在所述承载平台上且与所述滑轨滑动配合;
调整控制模块,所述调整控制模块用于根据设定称重信息控制所述升降机构,使得所述称重组件称量位置与所述设定称重信息相匹配。
2.根据权利要求1所述的晶体生长炉的装料称重装置,其特征在于,所述承载平台悬臂安装在所述箱体上。
3.根据权利要求1所述的晶体生长炉的装料称重装置,其特征在于,所述装料称重装置适于通过膨胀螺栓固定于地面上。
4.根据权利要求1所述的晶体生长炉的装料称重装置,其特征在于,还包括:
防护罩,所述防护罩可伸缩地连接在所述开口的上边沿和所述承载平台之间,以用于遮挡所述开口。
5.根据权利要求4所述的晶体生长炉的装料称重装置,其特征在于,所述开口形成为方形开口,所述防护罩的左右两侧边缘分别延伸至所述开口的左右两侧边沿,且与所述开口的左右两侧边沿对应滑动配合。
6.根据权利要求1所述的晶体生长炉的装料称重装置,其特征在于,所述箱体的外表面涂覆有烤漆层。
7.根据权利要求1-6中任一项所述的晶体生长炉的装料称重装置,其特征在于,所述称重单元包括至少一个称重传感器和称重处理模块,所述称重处理模块用于根据所述称重传感器输出的称重信号确定所述称重信息,
所述装料称重装置还包括去皮控制模块,所述去皮控制模块用于生成去皮信号,所述称重处理模块用于接收并根据所述去皮信号来置零所述称重信息以执行去皮操作;
任选地,所述称重传感器为四个且呈多行多列对称布置;
任选地,所述承载平台形成为方形结构,四个所述称重传感器分别对应所述承载平台的四个边角设置,其中相邻两个所述称重传感器之间的距离大于所述承载平台对应边沿的长度的一半。
8.根据权利要求1所述的晶体生长炉的装料称重装置,其特征在于,还包括:
显示组件,所述显示组件设在所述箱体上,所述显示组件与所述称重单元相连以用于显示所述称重信息;
任选地,所述显示组件通过铰链机构与所述箱体活动相连。
9.根据权利要求1所述的晶体生长炉的装料称重装置,其特征在于,所述调整控制模块预设有多个重量参考范围和多个高度位置,所述调整控制模块用于根据所述设定称重信息所处的所述重量参考范围控制所述升降机构,使得所述称重组件处于与所述设定称重信息所处的所述重量参考范围对应的所述高度位置。
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