[发明专利]阳极组件、电镀装置和阳极组件的制作方法在审
| 申请号： | 202011599782.7 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN114686955A | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 郭忠军 | 申请（专利权）人： | 矽磐微电子（重庆）有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/12 | 分类号： | C25D17/12;C25D7/12 |
| 代理公司： | 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 | 代理人： | 孙毅俊 |
| 地址： | 401331 重*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种阳极组件、电镀装置和阳极组件的制作方法。其中，阳极组件包括不溶性阳极网和绝缘阻挡件；不溶性阳极网包括正面，正面用于朝向待镀件；绝缘阻挡件的至少一部分设置于不溶性阳极网的正面。在上述设置中，利用绝缘阻挡件对不溶性阳极网的正面的至少一部分进行遮挡，实现减弱对应位置的电场强度，从而使得待镀件的对应位置不会得到过量的金属，进而使得待镀件的对应位置的厚度可以得到一定的控制，有利于实现电镀均一性，有利于保证半导体封装结构的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 阳极 组件 电镀 装置 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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