[发明专利]阳极组件、电镀装置和阳极组件的制作方法在审
| 申请号: | 202011599782.7 | 申请日: | 2020-12-29 |
| 公开(公告)号: | CN114686955A | 公开(公告)日: | 2022-07-01 |
| 发明(设计)人: | 郭忠军 | 申请(专利权)人: | 矽磐微电子(重庆)有限公司 |
| 主分类号: | C25D17/12 | 分类号: | C25D17/12;C25D7/12 |
| 代理公司: | 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 | 代理人: | 孙毅俊 |
| 地址: | 401331 重*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 阳极 组件 电镀 装置 制作方法 | ||
1.一种阳极组件,其特征在于,所述阳极组件包括:
不溶性阳极网,包括正面,所述正面用于朝向待镀件;
绝缘阻挡件,至少一部分设置于所述不溶性阳极网的正面。
2.如权利要求1所述的阳极组件,其特征在于,所述不溶性阳极网上开设有沿所述不溶性阳极网的厚度方向贯穿的通孔;
所述绝缘阻挡件包括遮挡部和定位部,所述定位部进入所述通孔,所述遮挡部抵靠于所述不溶性阳极网的正面。
3.如权利要求2所述的阳极组件,其特征在于,所述不溶性阳极网还包括背面,所述背面和所述正面沿所述不溶性阳极网的厚度方向相对设置;
所述绝缘阻挡件还包括限位部,所述遮挡部和所述限位部分别连接于所述定位部的两端,并且,所述限位部抵靠于所述不溶性阳极网的背面。
4.如权利要求2所述的阳极组件,其特征在于,沿远离所述绝缘阻挡件的轴线的方向,所述遮挡部的厚度逐渐减小。
5.如权利要求2所述的阳极组件,其特征在于,所述遮挡部的远离所述定位部的端面向远离所述定位部的方向隆起。
6.如权利要求1所述的阳极组件,其特征在于,所述不溶性阳极网上开设有沿所述不溶性阳极网的厚度方向贯穿的通孔,所述通孔的个数为多个,
所述绝缘阻挡件包括遮挡部和卡位部,所述遮挡部抵靠于所述正面,所述卡位部设置于所述遮挡部的周侧,并且,所述卡位部的个数为多个,多个卡位部卡设于不同的所述通孔。
7.如权利要求2-6中任意一项所述的阳极组件,其特征在于,所述绝缘阻挡件可在第一位置和第二位置之前切换;
当所述绝缘阻挡件位于所述第一位置时,所述绝缘阻挡件固定连接所述不溶性阳极网;当所述绝缘阻挡件自所述第一位置切换至所述第二位置,或者自所述第二位置切换至所述第一位置时,所述绝缘阻挡件产生弹性形变;当所述绝缘阻挡部位于所述第二位置时,所述绝缘阻挡件和所述不溶性阳极网分离。
8.如权利要求1所述的阳极组件,其特征在于,在所述不溶性阳极网的正面的至少一部分涂覆绝缘材料,并形成所述绝缘阻挡件。
9.一种电镀装置,其特征在于,所述电镀装置包括如权利要求1-8中任意一项所述的阳极组件和电镀池,所述阳极组件设置于所述电镀池中。
10.一种阳极组件的制作方法,其特征在于,所述制作方法用于制作如权利要求1-8中任意一项所述的阳极组件,所述制作方法包括:
在电镀池中设置待测试件和所述不溶性阳极网;
将所述待测试件分为若干待测试区域,测试所述待测试区域的厚度;
若一所述待测试区域的厚度大于预设厚度,在所述不溶性阳极网的正面的朝向所述测试区域的位置设置所述绝缘阻挡件。
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