[发明专利]硅基麦克风及其制造方法有效
| 申请号： | 202011589462.3 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN112689229B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 钟晓辉;王琳琳;屠兰兰 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R19/00;H04R31/00;H04R7/04;H04R7/16 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 远明 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种硅基麦克风，包括具有背腔的硅基底以及设置在所述硅基底上方的振膜和背板，所述振膜包括内振膜以及位于所述内振膜外周且与所述内振膜间隔设置的外振膜，其特征在于，所述背板包括与所述外振膜固定连接的背板支持体、由背板支持体支撑且位于所述背腔上方的背板中间体以及自所述背板中间体朝所述振膜方向延伸出的抵御柱，当所述振膜振动时，所述外振膜可产生形变而与所述抵御柱相抵触。本发明的硅基麦克风具有外振膜在大声压作用下不易破裂的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 麦克风 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于瑞声声学科技（深圳）有限公司，未经瑞声声学科技（深圳）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011589462.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
