[发明专利]超滑片转移方法以及超滑片转移控制系统有效
| 申请号： | 202011582171.1 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN112629507B | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 郑泉水;胡恒谦;杨德智;白玉蝶 | 申请（专利权）人： | 深圳清华大学研究院;清华大学 |
| 主分类号： | G01C15/00 | 分类号： | G01C15/00 |
| 代理公司： | 深圳市惠邦知识产权代理事务所 44271 | 代理人： | 满群 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种超滑片转移方法以及超滑片转移控制系统，包括移动超滑片至目标基底上方，并朝向目标基底的目标区域向下移动超滑片；监测超滑片的表面亮度；亮度开始变化则继续下移超滑片；超滑片的亮度停止变化，则停止下移超滑片的步骤，利用超滑片在转移过程中的亮度变化，对超滑片和目标基底的接触度和接触时间进行判断，不需要借助额外的横向显微镜或横向摄像头等设备，既可以实现超滑片和目标基底之间接触度的判断，极大的缩减了设备成本，且降低了控制的难度，更容易实现自动化的控制。 | ||
| 搜索关键词： | 超滑片 转移 方法 以及 控制系统 | ||
【主权项】：
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