[发明专利]一种具有修正装置的镀膜设备及镀膜修正方法在审
| 申请号： | 202011534962.7 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112760601A | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 许鸿;陈伟;董永军;曹顿华 | 申请（专利权）人： | 南京光宝光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/54;C23C14/50 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 杨敏 |
| 地址： | 210046 江苏省南京市经济技*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及了一种具有修正装置的镀膜设备及镀膜修正方法，所述具有修正装置的镀膜设备设有水平放置的真空室，所述真空室内部设有：工件夹具装置，设于所述真空室的顶部，用于放置待镀膜的工件；膜料蒸发源，设于所述真空室的底部，用于蒸发膜料蒸汽对所述工件进行镀膜；以及修正装置，包括支撑杆与修正板，所述修正板连接于所述支撑杆上；所述修正板位于所述膜料蒸发源与所述工件夹具装置两者之间、且可沿着水平方向相对于所述工件夹具装置转动，用于调整蒸汽的分布使得所述工件上生成厚度均匀的薄膜。通过上述设置，可解决目前镀膜设备中固定修正装置的蒸汽修正效果不好、导致工件镀膜后形成的薄膜膜厚分布不均匀的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 修正 装置 镀膜 设备 方法 | ||
【主权项】：
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