[发明专利]一种具有修正装置的镀膜设备及镀膜修正方法

权利要求书

1.一种具有修正装置的镀膜设备，设有水平放置的真空室，其特征在于，所述真空室内部设有：

工件夹具装置，设于所述真空室的顶部，用于放置待镀膜的工件；

膜料蒸发源，设于所述真空室的底部，用于蒸发膜料蒸汽对所述工件进行镀膜；

以及修正装置，包括支撑杆与修正板，所述修正板连接于所述支撑杆上；所述修正板位于所述膜料蒸发源与所述工件夹具装置两者之间、且可沿着水平方向相对于所述工件夹具装置转动，用于调整蒸汽的分布使得所述工件上生成厚度均匀的薄膜。

2.根据权利要求1所述的具有修正装置的镀膜设备，其特征在于，所述工件夹具装置包括工件夹具以及第一驱动电机，所述工件夹具连接于所述第一驱动电机下方，所述第一驱动电机用于驱动所述工件夹具相对于所述修正板反方向转动。

3.根据权利要求2所述的具有修正装置的镀膜设备，其特征在于，所述修正装置还包括第二驱动电机，与所述支撑杆连接，用于驱动所述支撑杆带动所述修正板沿着水平方向逆时针或顺时针转动。

4.根据权利要求2或3所述的具有修正装置的镀膜设备，其特征在于，所述工件夹具包括工件盘以及连接杆，所述工件盘通过所述连接杆连接于所述第一驱动电机的下方，所述第一驱动电机用于驱动所述连接杆带动所述工件盘相对于所述修正板反方向转动。

5.根据权利要求3所述的具有修正装置的镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备还设有主控装置，分别与所述第一驱动电机、所述第二驱动电机两者电连，用于分别控制电机工况。

6.根据权利要求5所述的具有修正装置的镀膜设备，其特征在于，所述膜料蒸发源的数量为两个以上，所有膜料蒸发源均匀分布于所述工件夹具装置的下方；所述支撑杆与所有膜料蒸发源等距离设置，所述修正板在所有膜料蒸发源的上方转动。

7.一种镀膜修正方法，其特征在于，所述方法基于如权利要求1-6任一项所述的具有修正装置的镀膜设备，包括步骤：

步骤A：通过一个峰值特征明显的待蒸镀膜系对所述修正装置进行初始调试；

步骤B：调试完成后，对待镀膜的工件进行镀膜。

8.根据权利要求7所述的镀膜修正方法，其特征在于，步骤A具体包括：

步骤a：将所述膜系设置于所述工件夹具装置上；

步骤b：将所述修正板的转动速度设置为固定速度V1，控制所述修正板转动来调整蒸汽的分布；

步骤c：将所述工件夹具装置的转动速度设置为固定速度V2，控制所述工件夹具装置沿着水平方向相对于所述修正板反方向转动，其中，V1与V2的比值范围为1.1～1.3；

步骤d：将所述膜料蒸发源的蒸发速率设置为恒定值，控制所述膜料蒸发源蒸发膜料蒸汽对所述膜系进行镀膜；

步骤e：获取膜厚测试结果；

步骤f：根据所述膜厚测试结果对所述修正板的形状进行调节；

步骤g：重复步骤a至步骤f，直至所述膜厚测试结果中的膜厚均匀性达到技术要求。

9.根据权利要求8所述的镀膜修正方法，其特征在于，步骤c中，根据所述镀膜设备的实际情况来调整V1与V2两者具体比值。

10.根据权利要求7所述的镀膜修正方法，其特征在于，在步骤B之后，所述方法还包括：

步骤C：镀膜完成后，对所述工件进行膜厚测试。