[发明专利]一种增强型柔性基材表面磁控溅射卷绕镀膜设备

摘要

本发明公开了一种增强型柔性基材表面磁控溅射卷绕镀膜设备，包括工作室、连接座，所述工作室的下端固定连接有支座，所述工作室上转动连接有展平辊，所述展平辊上绕接有基材，所述工作室上转动连接有两个对称的转动辊，所述转动辊上接触连接有基材，所述工作室上固定连接有四个磁控靶，所述磁控靶设置在转动辊的外侧，所述工作室上转动连接有收卷辊，所述收卷辊与基材接触，所述工作室的内部开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑块，所述滑块的内部滑动连接有固定杆。本发明涉及一种增强型柔性基材表面磁控溅射卷绕镀膜设备，具有调节基材张紧度以及加快镀膜成型效率的特点。