[发明专利]一种增强型柔性基材表面磁控溅射卷绕镀膜设备

权利要求书

1.一种增强型柔性基材表面磁控溅射卷绕镀膜设备，包括工作室(1)、连接座(20)，其特征在于：所述工作室(1)的下端固定连接有支座(2)，所述工作室(1)上转动连接有展平辊(3)，所述展平辊(3)上绕接有基材(4)，所述工作室(1)上转动连接有两个对称的转动辊(5)，所述转动辊(5)上接触连接有基材(4)，所述工作室(1)上固定连接有四个磁控靶(6)，所述磁控靶(6)设置在转动辊(5)的外侧，所述工作室(1)上转动连接有收卷辊(7)，所述收卷辊(7)与基材(4)接触，所述工作室(1)的内部开设有滑槽(9)，所述滑槽(9)的内部滑动连接有滑块(10)，所述滑块(10)的内部滑动连接有固定杆(11)，所述固定杆(11)与工作室(1)固定连接，所述固定杆(11)的外侧设置有第一弹簧(12)。

2.根据权利要求1所述的一种增强型柔性基材表面磁控溅射卷绕镀膜设备，其特征在于：所述工作室(1)的内壁接触连接有第一铰接座(13)，所述第一铰接座(13)与滑块(10)固定连接，所述第一铰接座(13)上铰接有铰接杆(14)，所述铰接杆(14)上铰接有连接杆(15)，所述连接杆(15)上铰接有第二铰接座(16)，所述第二铰接座(16)与工作室(1)的内壁固定连接，所述连接杆(15)上转动连接有滚轮(17)，所述滚轮(17)与基材(4)接触，所述工作室(1)的内部开设有连接槽(18)，所述连接槽(18)与滑槽(9)连通，所述连接槽(18)的内部滑动连接有连接块(19)，所述连接块(19)与滑块(10)固定连接，所述连接块(19)的上端固定连接有连接座(20)，所述连接座(20)与工作室(1)的外表面接触。

3.根据权利要求2所述的一种增强型柔性基材表面磁控溅射卷绕镀膜设备，其特征在于：所述连接座(20)的内部开设有限位槽(21)，所述限位槽(21)的内部滑动连接有螺纹杆(22)，所述螺纹杆(22)上通过螺纹连接有两个对称的螺母(23)，所述螺母(23)与连接座(20)接触，所述螺纹杆(22)上固定连接有两个对称的限位座(24)，所述限位座(24)与工作室(1)的侧壁固定连接，所述工作室(1)的内壁固定连接有固定管(8)，所述固定管(8)的上端固定连接有排气口(25)，所述排气口(25)的内部开设有多个均匀分布的出气口(26)，工作室(1)的内壁固定连接有气泵(27)，所述气泵(27)上设置有排气管(28)，所述排气管(28)接入固定管(8)内，所述气泵(27)上设置有进气管(30)。

4.根据权利要求3所述的一种增强型柔性基材表面磁控溅射卷绕镀膜设备，其特征在于：所述工作室(1)的下端固定连接有过滤箱(29)，所述过滤箱(29)上设置有观察窗(44)，所述过滤箱(29)的内部设置有进气管(30)，所述过滤箱(29)的内部滑动连接有下盖(31)，所述下盖(31)的内部开设有进气口(32)，所述过滤箱(29)的内部通过螺纹连接有限位螺钉(33)，所述限位螺钉(33)的尾端与下盖(31)卡接，所述下盖(31)的内部滑动连接有两个对称的竖杆(34)，所述竖杆(34)的下端固定连接有限位环(35)，所述限位环(35)与下盖(31)接触，所述竖杆(34)的外侧设置有第二弹簧(36)，所述竖杆(34)的上端固定连接有安装板(37)，所述安装板(37)与过滤箱(29)滑动连接，所述安装板(37)的内部设置有滤网(38)，所述安装板(37)的上端固定连接有两个对称的定位座(39)，所述定位座(39)为一种橡胶材质制成，所述定位座(39)的内部开设有定位槽(40)，所述定位槽(40)的内部卡接有定位块(41)，所述定位块(41)上固定连接有干燥盒(42)，所述干燥盒(42)与安装板(37)接触，所述干燥盒(42)上设置有通孔(43)。

5.根据权利要求1所述的一种增强型柔性基材表面磁控溅射卷绕镀膜设备，其特征在于：所述支座(2)的数量为四个，四个所述支座(2)在工作室(1)的下端均匀分布。

6.根据权利要求1所述的一种增强型柔性基材表面磁控溅射卷绕镀膜设备，其特征在于：所述第一弹簧(12)的一端与滑块(10)接触，所述第一弹簧(12)的另一端与工作室(1)的内壁接触。