[发明专利]一种半导体分立器用硅外延生长扩散辅助设备在审
| 申请号： | 202011449293.3 | 申请日： | 2020-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN112626615A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 黄梦蕾 | 申请（专利权）人： | 黄梦蕾 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B25/02;C30B25/14;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京恒泰铭睿知识产权代理有限公司 11642 | 代理人： | 王雨 |
| 地址： | 454850 河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体分立器制造技术领域，且公开了一种半导体分立器用硅外延生长扩散辅助设备，包括扩散辅助机构，所述扩散辅助机构的中心设有衬底，衬底的外侧活动连接有固定板，固定板的外侧活动连接有连接件。该半导体分立器用硅外延生长扩散辅助设备，通过四氯化硅和氢气的反应进而产生硅和氯化氢，从而该过程在调和环的配合下被完成，在完成的过程中，四氯化硅和氢气的反应会在离子仓内部的感应电流的处理下，从而使生成的硅材料被附有带电粒子，从而使附有带电粒子的硅材料，通过导管的传递，使固定板内侧的衬底的上方沉积有硅材料，从而减少了人为调和可能产生的杂质，从而使硅材料的调和度升高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 分立 器用 外延 生长 扩散 辅助 设备 | ||
【主权项】：
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