[发明专利]一种半导体分立器用硅外延生长扩散辅助设备

权利要求书

1.一种半导体分立器用硅外延生长扩散辅助设备，包括扩散辅助机构(1)，其特征在于：所述扩散辅助机构(1)的中心设有衬底(2)，衬底(2)的外侧活动连接有固定板(3)，固定板(3)的外侧活动连接有连接件(4)，固定板(3)的顶部固定连接有导管(5)，导管(5)的顶部固定连接有环管(6)，环管(6)的顶部活动连接有调和环(7)，调和环(7)的内部设有离子仓(8)，离子仓(8)的内部活动连接有转轴(9)，转轴(9)的外侧固定连接有搅板(10)，搅板(10)的外侧设有磁铁(11)，调和环(7)的顶部固定连接有弧管(12)，弧管(12)的外侧固定连接有风管(13)，风管(13)的内侧活动连接有支撑柱(14)，支撑柱(14)的底部活动连接有弹簧(15)，风管(13)的内侧活动连接有氢气扇(16)，弧管(12)的顶部固定连接有整流球(17)，整流球(17)的外侧固定连接有异形管(18)，异形管(18)的顶部固定连接有液体仓(19)，液体仓(19)的内部转动连接有转动轮(20)，转动轮(20)的顶部活动连接有硅仓(21)，硅仓(21)的内部活动连接有滚球(22)，滚球(22)的外侧设有喷头(23)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体分立器用硅外延生长扩散辅助设备，其特征在于：所述固定板(3)的数目为四个，且四个固定板(3)均匀分布在衬底(2)的外侧。

3.根据权利要求1所述的一种半导体分立器用硅外延生长扩散辅助设备，其特征在于：所述固定板(3)的数目和导管(5)的数目相同，且固定板(3)通过导管(5)和环管(6)活动连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体分立器用硅外延生长扩散辅助设备，其特征在于：所述离子仓(8)的数目为三个，且三个离子仓(8)均匀分布在调和环(7)的内部。

5.根据权利要求1所述的一种半导体分立器用硅外延生长扩散辅助设备，其特征在于：所述搅板(10)的数目为三个，且三个搅板(10)均匀分布在转轴(9)的外侧。

6.根据权利要求1所述的一种半导体分立器用硅外延生长扩散辅助设备，其特征在于：所述氢气扇(16)的左右两侧均设有支撑柱(14)，且氢气扇(16)均匀分布在调和环(7)的外侧。

7.根据权利要求1所述的一种半导体分立器用硅外延生长扩散辅助设备，其特征在于：所述硅仓(21)的内部设有四氯化硅，且滚球(22)的数目是硅仓(21)数目的两倍。