[发明专利]一种扫描电镜样品导航方法有效
| 申请号： | 202011407899.0 | 申请日： | 2020-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN112630242B | 公开（公告）日： | 2023-01-10 |
| 发明（设计）人： | 邢远;唐敏;杨旭;蔡晓文 | 申请（专利权）人： | 成都先进金属材料产业技术研究院股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2204 | 分类号： | G01N23/2204;G01N23/2251 |
| 代理公司： | 北京知联天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11594 | 代理人： | 孔凡梅 |
| 地址： | 610000 四川省成都市青白江区城厢镇香岛大道1*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及电子显微镜表征领域，公开了一种扫描电镜样品导航方法，用以解决未配置导航装置的电子显微镜难以实现样品导航的问题。本发明首先在样品台上标记一个长方形的四个顶点，在电镜中记录四个点在视场中心时样品台的坐标信息，随后粘贴样品，粘贴样品时需将四个标记点露出，并在样品台正上方对粘贴样品后的样品台成像，然后读取四个标记点和样品放置在成像照片中的坐标信息，利用数学上的坐标系变化计算出样品位置在扫描电镜中的坐标信息，最后在样品台控制面板内输入样品位置信息实现样品导航。本发明适用于电镜样品导航。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描电镜 样品 导航 方法 | ||
【主权项】：
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