[发明专利]一种扫描电镜样品导航方法

说明书

本发明涉及电子显微镜表征领域，公开了一种扫描电镜样品导航方法，用以解决未配置导航装置的电子显微镜难以实现样品导航的问题。本发明首先在样品台上标记一个长方形的四个顶点，在电镜中记录四个点在视场中心时样品台的坐标信息，随后粘贴样品，粘贴样品时需将四个标记点露出，并在样品台正上方对粘贴样品后的样品台成像，然后读取四个标记点和样品放置在成像照片中的坐标信息，利用数学上的坐标系变化计算出样品位置在扫描电镜中的坐标信息，最后在样品台控制面板内输入样品位置信息实现样品导航。本发明适用于电镜样品导航。

技术领域

本发明涉及电子显微镜(简称电镜)表征领域，特别涉及一种扫描电镜样品导航方法。

背景技术

电子显微镜样品腔室为真空状态，实验过程中无法直接观察到样品的放置位置，而电子光路系统的最小放大倍率也达到了20倍作用的放大效果且低倍下二次电子像畸变严重，由此电子显微镜的样品位置导航功能显得尤为重要。常见的扫描电镜样品导航功能多由生产厂家配置，一部分厂家通过记录标准样品台的特定位置坐标，使用时将样品放在该特定位置，通过配套软件驱动样品台马达将样品移动到该坐标下实现导航功能，另外一部分厂家通过在样品仓室安装CCD，通过CCD成像和内置软件实现样品导航。对于无开发电子显微镜权限的单位和个人，往往只有通过改良样品台定位特殊样品位置，但无法实现多样品的导航。厂家的样品导航系统依赖软、硬件的升级，从而导致价格高昂，且往往无法对老旧的电子显微镜进行升级。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：提供一种扫描电镜样品导航方法，用以解决未配置导航装置的电子显微镜难以实现样品导航的问题。

为解决上述问题，本发明采用的技术方案是：首先在样品台上标记一个长方形的四个顶点，在电镜中记录四个标记点在视场中心时样品台的坐标信息，随后粘贴样品，粘贴样品时需将四个标记点露出，并在样品台正上方对粘贴样品后的样品台成像，然后读取四个标记点和样品放置在成像照片中的坐标信息，利用数学上的坐标系变化计算出样品位置在扫描电镜中的坐标信息，最后在样品台控制面板内输入样品位置信息实现样品导航。

由于电子显微镜为大型分析设备，为了预防电脑病毒等，一般进行了物理隔离，无法实时上传图片或者利用程序处理数据，因此本发明的系统通常需要准备一个成像设备和一个具备程序处理能力的计算设备，而为了简化硬件，以及简化工作人员的操作，本发明优选将成像设备和计算设备整合成一体设备，从而一体设备成像之后还可以之间在一体设备中计算出样品位置在扫描电镜的坐标信息。

进一步的，考虑到现在的人们一般都是随身携带手机且手机具备程序处理能力，本发明优选将手机作为上述的一体设备。

进一步的，根据实施例，所述利用数学上的坐标系变化计算出样品位置在扫描电镜中的坐标信息，具体可包括：

若样品台上标记的四个点为O、X、Y和M，其中且且在电镜中四个标记点在视场中心时坐标信息为O_s(O_sx，O_sy)、X_s(X_sx，X_sy)、Y_s(Y_sx，Y_sy)、M_s(M_sx，M_sy)，其中下标s代表电镜样品室坐标系下个点的位置；