[发明专利]一种扫描电镜样品导航方法有效
| 申请号： | 202011407899.0 | 申请日： | 2020-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN112630242B | 公开（公告）日： | 2023-01-10 |
| 发明（设计）人： | 邢远;唐敏;杨旭;蔡晓文 | 申请（专利权）人： | 成都先进金属材料产业技术研究院股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2204 | 分类号： | G01N23/2204;G01N23/2251 |
| 代理公司： | 北京知联天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11594 | 代理人： | 孔凡梅 |
| 地址： | 610000 四川省成都市青白江区城厢镇香岛大道1*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 扫描电镜 样品 导航 方法 | ||
1.一种扫描电镜样品导航方法，其特征在于，首先在样品台上标记一个长方形的四个顶点，在电镜中记录四个标记点在视场中心时样品台的坐标信息，随后粘贴样品，粘贴样品时需将四个标记点露出，并在样品台正上方对粘贴样品后的样品台成像，然后读取四个标记点和样品放置在成像照片中的坐标信息，利用数学上的坐标系变化计算出样品位置在扫描电镜中的坐标信息，最后在样品台控制面板内输入样品位置信息实现样品导航；
所述利用数学上的坐标系变化计算出样品位置在扫描电镜中的坐标信息，具体包括：
若样品台上标记的四个点为O、X、Y和M，其中且且在电镜中四个标记点在视场中心时坐标信息为Os(Osx，Osy)、Xs(Xsx，Xsy)、Ys(Ysx，Ysy)、Ms(Msx，Msy)，其中下标s代表电镜样品室坐标系下个点的位置，下标x和y分别代表横坐标和纵坐标；
当四个标记点和某个样品放置在成像照片中的坐标信息为Oi(Oix，Oiy)、Xi(Xix，Xiy)、Yi(Yix，Yiy)、Mi(Mix，Miy)、P1i(P1ix，P1iy)时，其中下标i代表手机图像坐标系下各点的位置，下标x和y分别代表横坐标和纵坐标；则该样品在电镜坐标系下的位置P1通过以下公式计算得出：
其中P1s(P1sx，P1sy)表示样品在电镜坐标系下的坐标。
2.如权利要求1所述的一种扫描电镜样品导航方法，其特征在于，对样平台成像以及计算出样品位置在扫描电镜中的坐标信息均在同一个一体装置中进行。
3.如权利要求1或2所述的一种扫描电镜样品导航方法，其特征在于，所述一体装置为手机。
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