[发明专利]一种半导体生产用检测装置

摘要

本发明专利公开了一种半导体生产用检测装置，包括下箱体、内箱体、伸缩柱和顶盖，伸缩柱固定安装于下箱体和顶盖之间，内箱体设置于下箱体的中部，内箱体的侧壁内嵌入有下夹持器，下夹持器的上部装配有上夹板，顶盖下表面的中部开设有通孔，顶盖下将封死内箱体，上部的导管口径大，可用于大量注入水汽等成分营造常规检测环境，下夹持器外侧的阀门可用于泄压，也可用于少量注入酸碱性气体，营造苛刻检测环境，对半导体设备进行多方面破坏性检测；该设备体积小，内部空间环境容易改变，消耗的物资较少，且顶盖封闭后，内部空间与外部隔绝，在操作不违规的前提下，能够保证检测用的腐蚀性气体不会泄露至空气中，保证工作人员的安全。