[发明专利]一种电子元件生产用晶圆检测设备在审
| 申请号： | 202011400226.2 | 申请日： | 2020-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN112697024A | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 吴禹凡;高洪庆 | 申请（专利权）人： | 太仓治誓机械设备科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/20 | 分类号： | G01B5/20;G01B11/24;G01S17/08 |
| 代理公司： | 苏州睿昊知识产权代理事务所(普通合伙) 32277 | 代理人： | 马小慧 |
| 地址： | 215400 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及检测设备的技术领域，特别是涉及一种电子元件生产用晶圆检测设备，其通过对晶圆进行检测，可有效节省人工检测时的时间，简化检测方式，节省人力和时间，提高工作效率，同时晶圆的检测精度提高，有效提高检测效果，提高实用性和可靠性；包括底座、放置台、顶板、侧支撑臂、中控箱和压盘，放置台安装在底座的顶端中部，顶板位于放置台的上方，顶板通过四组侧支撑臂固定在底座上，中控箱安装在顶板的前侧，顶板上设置有推动装置，推动装置的下侧伸出至顶板的下方。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子元件 生产 用晶圆 检测 设备 | ||
【主权项】：
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