[发明专利]一种电子元件生产用晶圆检测设备

权利要求书

1.一种电子元件生产用晶圆检测设备，其特征在于，包括底座(1)、放置台(2)、顶板(3)、侧支撑臂(4)、中控箱(5)和压盘(6)，放置台(2)安装在底座(1)的顶端中部，顶板(3)位于放置台(2)的上方，顶板(3)通过四组侧支撑臂(4)固定在底座(1)上，中控箱(5)安装在顶板(3)的前侧，顶板(3)上设置有推动装置，推动装置的下侧伸出至顶板(3)的下方，压盘(6)安装在推动装置的底部，压盘(6)的位置与放置台(2)的位置对应，压盘(6)的下侧横向设置有左右贯穿的通槽，通槽内设置有打开装置，压盘(6)的上侧设置为锥形面，锥形面上设置有环形导轨(7)，环形导轨(7)上滑动设置有转动环(8)，转动环(8)的顶部环形均匀设置有多组齿，压盘(6)的顶部前侧设置有第一电机(9)，第一电机(9)的前侧输出端设置有转轴(10)，转轴(10)的中部设置有第一齿轮(11)，第一齿轮(11)的底部与转动环(8)上的齿啮合，转动环(8)的左侧和右侧均设置有第一安装板(12)，两组第一安装板(12)的底部均横向设置有第一直线导轨(13)，两组第一直线导轨(13)的下侧均滑动设置有滑块(14)，两组滑块(14)的底部均设置有弓形板(15)，两组弓形板(15)的方向相反，两组弓形板(15)的内侧均转动设置有滚柱(16)，打开装置的左侧和右侧均伸出至通槽的外侧并与两组滚柱(16)的内侧接触，两组第一安装板(12)的外端均设置有第二安装板(17)，两组第二安装板(17)的内侧壁上侧均设置有压力检测计(18)，两组压力检测计(18)的内侧均设置有弹簧(19)，两组弹簧(19)的内侧分别与两组滑块(14)的外侧连接，两组第二安装板(17)的内侧壁下侧均设置有激光测距仪(20)，两组激光测距仪(20)的位置分别与两组弓形板(15)的外侧壁位置对应，中控箱(5)分别与推动装置、打开装置、第一电机(9)、压力检测计(18)和激光测距仪(20)信号连接。

2.如权利要求1所述的一种电子元件生产用晶圆检测设备，其特征在于，打开装置包括第二电机(21)、第二齿轮(22)、两组第二直线导轨(23)、两组推动滑杆(24)和两组弧形推板(25)，第二电机(21)安装在压盘(6)的顶部，第二电机(21)的下侧输出端穿过压盘(6)并伸入至通槽内部，第二齿轮(22)位于通槽中部并安装在第二电机(21)的下侧输出端上，两组第二直线导轨(23)分别横向安装在通槽的内壁前侧和后侧，两组推动滑杆(24)分别滑动安装在两组第二直线导轨(23)上，两组推动滑杆(24)的内侧壁上均设置有多组齿，第二齿轮(22)的前侧和后侧分别与两组推动滑杆(24)内侧壁上的多组齿啮合，两组弧形推板(25)分别安装在后侧推动滑杆(24)的左侧和前侧推动滑杆(24)的右侧，两组弧形推板(25)的外侧分别通过通槽的左侧和右侧伸出至通槽的外侧，两组弧形推板(25)的位置分别与两组推动滑杆(24)的位置交错并相互分离，两组弧形推板(25)分别与两组滚柱(16)位置对应，第二电机(21)与中控箱(5)信号连接。

3.如权利要求2所述的一种电子元件生产用晶圆检测设备，其特征在于，推动装置包括四组螺套(26)、四组丝杠(27)、四组第三齿轮(28)、第三安装板(29)、第三电机(30)和第四齿轮(31)，四组螺套(26)均匀穿插在顶板(3)上，四组丝杠(27)的底部均匀转动安装在压盘(6)的顶部，四组丝杠(27)的底部均与第二电机(21)分离，四组丝杠(27)的顶部分别穿过四组螺套(26)并伸出至顶板(3)的上方，四组丝杠(27)分别与四组螺套(26)螺装连接，四组第三齿轮(28)分别安装在四组丝杠(27)的顶部，第三安装板(29)安装在四组第三齿轮(28)的顶部，四组第三齿轮(28)均与第三安装板(29)转动连接，第三电机(30)安装在第三安装板(29)的顶部，第三电机(30)的下侧输出端穿过第三安装板(29)并伸出至第三安装板(29)的下方，第四齿轮(31)位于四组第三齿轮(28)之间，第四齿轮(31)的外侧与四组第三齿轮(28)的内侧啮合，第四齿轮(31)的顶部安装在第三电机(30)的下侧输出端上，第三电机(30)与中控箱(5)信号连接。