[发明专利]一种Micro LED检测和转移方法

摘要

本发明提供一种Micro LED检测和转移方法，包括如下步骤：S1：形成阵列设置的外延层；S2：在外延层上制作金属电极层；S3：金属电极层与暂态基板的第一UV胶贴合；S4：激光剥离蓝宝石基板；S5：检测基板上涂覆第二UV胶，然后在第二UV胶上制作并图案化的光敏导电层；S6：光敏导电层与LED的外延层贴合并加电固化，在加电固化的过程中；S7：移走暂态基板；S8：检测基板把正常的LED转移至背板基板的键合电极上，LED的金属电极层与键合电极键合；S9：在背板基板对LED进行修补，具体修补步骤S6中的环的LED。本发明通过检测和转移同时进行，在LED转移至背板基板前进行检查，提高检查和效率；检测和转移同时进行，提高工艺效率。