[发明专利]端材去除装置及端材去除方法在审
| 申请号： | 202011358517.X | 申请日： | 2020-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN112987348A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 中田胜喜 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;谢顺星 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 端材去除装置(1)具备翻转工作台(5)、第一机械臂(7)及控制器(31)。翻转工作台(5)具有工作台吸附装置(17)，并能够上下翻转。控制器(31)执行：使翻转工作台(5)的吸附部(17)朝向上方的步骤；使输送装置以使第二基板(M2)朝向下侧的状态将端材(M2a)配置于翻转工作台(5)的工作台吸附装置(17)的步骤；使端材(M2a)吸附于工作台吸附装置(17)的步骤；通过使第一机械臂(7)将母基板(M)与翻转工作台(5)分离而将主体(P2)从端材(M2a)截断的步骤；通过使翻转工作台(5)上下翻转而使工作台吸附装置(17)及端材(M2a)朝向下方的步骤；及通过使工作台吸附装置(17)解除端材(M2a)的吸附而使端材(M2a)下落的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 去除 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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