[发明专利]碱抛光PERC电池制作工艺

摘要

本发明公开了一种碱抛光PERC电池制作工艺，所涉及的工艺在激光重掺杂步骤之后增加第二次扩散步骤，可以在重掺杂区再次形成对pn结构成保护的PSG，进而取代现有技术中所涉及的正面热氧化步骤；此外，在PERC电池轻掺杂区，由于第二次扩散步骤中的第二预扩散温度与第二推进扩散温度分别小于第一次扩散步骤中的第一预扩散温度与第一推进扩散温度，第一次扩散步骤中所形成的PSG可以阻止磷再次往硅片内部扩散；而在PERC电池重掺杂区，由于激光重掺杂步骤会破坏第一次扩散步骤中所形成的PSG，磷可以继续往硅片内部扩散，如此相对现有技术能够在重掺杂区形成掺杂浓度更高的重掺杂，以使重掺杂区具有更好的欧姆接触，提升FF，提升电池效率。