[发明专利]一种晶圆切片机用导向承载台

摘要

本发明公开了一种晶圆切片机用导向承载台，其结构包括承载台、支撑板、固定杆，固定杆与支撑板为一体化结构，承载台与支撑板活动卡合，通过晶圆的底部对吸附盘产生的压力，能够使吸附盘向下收缩，从而使底贴板能够在吸附盘与其相贴合时对吸附盘进行封口，故而使吸附盘能够吸附在晶圆的底部，有效的避免了承载台快速停止时其上端的晶圆会因惯性向前滑动的情况，通过晶圆与吸附盘分离的瞬间产生的反向气流能够带动吸附盘内部的晶圆碎屑进入导入腔的内部，从而使清除球上的两个相邻的清理刷能够将导入腔内部的晶圆碎屑向上带出，有效的避免了晶圆碎屑会进入吸附盘内部，且难以清除的情况。