[发明专利]一种晶圆切片机用导向承载台

权利要求书

1.一种晶圆切片机用导向承载台，其结构包括承载台(1)、支撑板(2)、固定杆(3)，所述固定杆(3)与支撑板(2)为一体化结构，其特征在于：所述承载台(1)与支撑板(2)活动卡合；

所述承载台(1)包括下压板(11)、连接片(12)、衔接板(13)、防滑机构(14)，所述下压板(11)通过连接片(12)与防滑机构(14)相连接，所述防滑机构(14)与衔接板(13)嵌固连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆切片机用导向承载台，其特征在于：所述防滑机构(14)包括位固机构(a1)、联动杆(a2)、底板(a3)、弹力条(a4)，所述位固机构(a1)嵌固于底板(a3)的上表面位置，所述联动杆(a2)与底板(a3)活动卡合，所述弹力条(a4)安装于联动杆(a2)与底板(a3)之间。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆切片机用导向承载台，其特征在于：所述位固机构(a1)包括卡固块(a11)、吸附盘(a12)、打底板(a13)、底贴板(a14)，所述卡固块(a11)嵌固于底贴板(a14)的上端位置，所述打底板(a13)与底贴板(a14)为一体化结构，所述底贴板(a14)与吸附盘(a12)间隙配合。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆切片机用导向承载台，其特征在于：所述卡固块(a11)包括增触板(b1)、中固块(b2)、连接片(b3)，所述增触板(b1)嵌固于中固块(b2)的外表面位置，所述连接片(b3)安装于增触板(b1)与中固块(b2)之间。

5.根据权利要求3所述的一种晶圆切片机用导向承载台，其特征在于：所述吸附盘(a12)包括框架(c1)、清除球(c2)、导入腔(c3)，所述导入腔(c3)与框架(c1)为一体化结构，所述清除球(c2)安装于导入腔(c3)的内部位置。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆切片机用导向承载台，其特征在于：所述清除球(c2)包括清理刷(c21)、结合环(c22)、活动珠(c23)、位中块(c24)，所述清理刷(c21)嵌固于结合环(c22)的外表面位置，所述结合环(c22)通过活动珠(c23)与位中块(c24)活动卡合。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆切片机用导向承载台，其特征在于：所述结合环(c22)包括撞击块(d1)、外环(d2)、连接条(d3)、内置条(d4)，所述撞击块(d1)与外环(d2)间隙配合，所述连接条(d3)安装于内置条(d4)与撞击块(d1)之间，所述内置条(d4)与外环(d2)为一体化结构。