[发明专利]一种制造芯片的智能化生产流水线在审
| 申请号： | 202011335124.7 | 申请日： | 2020-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN112462574A | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 龙双权 | 申请（专利权）人： | 龙双权 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 450000 河南省郑州*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制造芯片的智能化生产流水线，其结构包括设备主体、控制器、输送板、工作台、匀铺装置、刻胶器、视察窗。有益效果：本发明利用纳胶结构设有的纳腔以及刮捋件，在两者的相互配合下，对芯片侧边面因离心旋转而滞留的多余光刻胶质，在匀铺装置整体的旋转作用下，通过刮捋件的设置以及其橡胶材质的特性，对残余的光刻胶质做刮除作用，并在配合纳腔对刮除后的胶质做集中的收集处理，本发明利用抑涌机构，有利于实现对经由离心旋转而向芯片外侧扩散的光刻胶，做有效的厚度阻挡、从而实现分散扩散，以防止芯片最外侧面出现有不均匀扩散的光刻胶堆积滞留，导致芯片无法正常使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制造 芯片 智能化 生产 流水线 | ||
【主权项】：
暂无信息
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