[发明专利]一种制造芯片的智能化生产流水线在审

专利信息
申请号: 202011335124.7 申请日: 2020-11-24
公开(公告)号: CN112462574A 公开(公告)日: 2021-03-09
发明(设计)人: 龙双权 申请(专利权)人: 龙双权
主分类号: G03F7/16 分类号: G03F7/16
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 450000 河南省郑州*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 一种 制造 芯片 智能化 生产 流水线
【权利要求书】:

1.一种制造芯片的智能化生产流水线,其结构包括设备主体(1)、控制器(2)、输送板(3)、工作台(4)、匀铺装置(5)、刻胶器(6)、视察窗(7),其特征在于:所述控制器(2)安装于设备主体(1)右侧表面,所述输送板(2)与设备主体(1)右侧贯穿相连接,所述工作台(4)设于设备主体(1)内下部,所述匀铺装置(5)安装于工作台(4)上表面,所述刻胶器(6)设于设备主体(1)内上部,并与匀铺装置(5)相对应设置;

所述匀铺装置(5)包括安装架扣(5a)、纳胶结构(5b)、抑涌机构(5c),所述安装扣(5a)共设有三个且分别安装于纳胶结构(5b)下表面,并与工作台(4)通过轴承相连接,所述抑涌机构(5c)共设有两个且分别呈对立面安装于纳胶结构(5b)内环上下部。

2.根据权利要求1所述的一种制造芯片的智能化生产流水线,其特征在于:所述纳胶结构(5b)包括纳腔(5b1)、透口(5b2)、刮捋件(5b3),所述透口(5b2)共设有六个且分别呈均匀等距状设于纳腔(5b1)内环壁,所述刮捋件(5b3)共设有六个且分别与透口(5b2)相对应安装,所述刮捋件(5b3)与纳腔(5b1)内环壁通过透口(5b2)相连接。

3.根据权利要求2所述的一种制造芯片的智能化生产流水线,其特征在于:所述纳腔(5b1)内部设有抽吸泵且为旋转运动,所述纳腔(5b1)与透口(5b2)为一体化结构,并与刮捋件(5b3)贯穿相连接。

4.根据权利要求2所述的一种制造芯片的智能化生产流水线,其特征在于:所述刮捋件(5b3)包括扣囊腔(5b31)、斜流板(5b32)、伸缩块(5b33)、刮条(5b34),所述扣囊腔(5b31)与透口(5b2)表面贯穿相连接,所述斜流板(5b32)呈两个一组共设有六组,所述斜流板(5b32)分别安装于扣囊腔(5b31)左右两侧并相配合,所述伸缩块(5b33)设于扣囊腔(5b31)表面并垂直相连接,所述刮条(5b34)安装于伸缩块(5b33)表面并相配合。

5.根据权利要求4所述的一种制造芯片的智能化生产流水线,其特征在于:所述斜流板(5b32)表面为网状结构,所述斜流板(5b32)与透口(5b2)贯穿相连接。

6.根据权利要求4所述的一种制造芯片的智能化生产流水线,其特征在于:所述刮条(5b34)呈半弧形状且为弹力橡胶材质,所述刮条(5b34)表面为粗糙状。

7.根据权利要求1所述的一种制造芯片的智能化生产流水线,其特征在于:所述抑涌机构(5c)包括罩环板(5c1)、衔接扭簧(5c2)、护套(5c3)、限隔板(5c4),所述罩环板(5c1)与纳腔(5b1)内环壁通过衔接扭簧(5c2)相连接,所述护套(5c3)安装于罩环板(5c1)最外端,所述限隔板(5c4)设有三个以上且均匀分布于罩环板(5c1)内侧下表面,所述限隔板(5c4)与罩环板(5c1)垂直相连接。

8.根据权利要求7所述的一种制造芯片的智能化生产流水线,其特征在于:所述罩环板(5c1)呈倾斜状安装,所述罩环板(5c1)与纳腔(5b1)连接端的截面直径大于另一端截面直径,所述罩环板(5c1)与护套(5c3)材质一致均为橡胶材质。

9.根据权利要求7所述的一种制造芯片的智能化生产流水线,其特征在于:所述限隔板(5c4)呈弧形状有间距穿插设置,所述限隔板(5c4)下表面设有捋压条(g),所述捋压条(g)与限隔板(5c4)相焊接。

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