[发明专利]电容压力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202011301093.3 | 申请日： | 2020-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN114518186A | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 张新伟;蔡清华;杨杰;顾坚俭;薛静静;杨万青 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;G01L9/12;B81C1/00;B81C3/00 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 姚姝娅 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电容压力传感器及其制备方法，包括：将基体衬底形成有绝缘介质层的一面与键合衬底键合，基体衬底与键合衬底之间未设置绝缘介质层的位置形成空腔结构；在基体衬底上形成与基体衬底电连接的第一电极，在键合衬底上形成与键合衬底电连接的第二电极；其中，基体衬底作为电容压力传感器的第一极板，键合衬底作为电容压力传感器的第二极板。本申请将基体衬底作为电容压力传感器的第一极板，键合衬底作为电容压力传感器的第二极板，处于第一极板和第二极板之间的空腔结构可充当电容压力传感器两个电极之间的电介质材料，与现有技术相比，本申请制备电容压力传感器的工艺简单，且便于批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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