[发明专利]一种新型连续镀膜线真空冷阱的布置方式和工作方法在审
| 申请号： | 202011299797.1 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN112481599A | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 彭寿;张康;张超群;王贝;葛治亮;井治;陶飞 | 申请（专利权）人： | 中国建材国际工程集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/54 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 郎祺 |
| 地址： | 200030 上海市普*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种新型连续镀膜线真空冷阱的布置方式和工作方法，该布置方式包括将冷阱系统安装于镀膜工艺室外的一侧，且通过管道与镀膜工艺室连通；冷阱系统包括冷阱和与冷阱连接的冷阱盘管；将冷阱盘管通过加热固定装置固定于冷阱盘管腔室内；冷阱盘管腔室的一端连接于镀膜工艺室，另一端连接于一前级泵抽系统。本发明具有着结构简单、成本低廉、维护方便、不占用工艺腔室空间、不影响镀膜工艺、制冷盘管长度可调节等优点，适用于不同宽度规格的镀膜线，避免定期除霜需要对生产线整线破空，保证生产的连续性和工艺的稳定性，降低维护成本，大大提高了生产效率，对实际生产具有重大意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 连续 镀膜 真空 布置 方式 工作 方法 | ||
【主权项】：
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