[发明专利]一种新型连续镀膜线真空冷阱的布置方式和工作方法

权利要求书

1.一种新型连续镀膜线真空冷阱的布置方式，其特征在于，将冷阱系统安装于镀膜工艺室外(8)的外侧，且通过管路与所述镀膜工艺室(8)连通；

所述冷阱系统包括冷阱(3)和与所述冷阱(3)连接的冷阱盘管(10)；将所述冷阱盘管(10)通过加热固定装置(21)固定于冷阱盘管腔室(2)内；在所述冷阱盘管腔室(2)上设置一复合真空规(9)，用以检测所述冷阱盘管腔室(2)的真空度；

所述冷阱盘管腔室(2)的一端连接于所述镀膜工艺室(8)，另一端连接于一前级泵抽系统(1)；

在所述冷阱盘管腔室(2)与所述前级泵抽系统(1)连接的管道上、所述冷阱盘管腔室(2)与所述镀膜工艺室(8)连接的管道上分别设置第一阀门(4)和第二阀门(6)；

在所述冷阱盘管腔室(2)与外界大气连接的管道上设置第三阀门(5)。

2.根据权利要求1所述的布置方式，其特征在于，在所述冷阱盘管腔室(2)的内壁上均匀的设置保温层(22)。

3.根据权利要求2所述的布置方式，其特征在于，所述保温层(22)的材料为聚四氟乙烯。

4.根据权利要求1所述的布置方式，其特征在于，所述前级泵抽系统(1)包括逐级连接的螺杆泵(11)、第四阀门(13)、罗茨泵(12)和第五阀门(14)。

5.根据权利要求4所述的布置方式，其特征在于，所述第一阀门(4)、第二阀门(6)、第三阀门(5)、第四阀门(13)和第五阀门(14)选自角阀和蝶阀中的一种。

6.根据权利要求1所述的布置方式，其特征在于，所述冷阱盘管腔室(2)截面的宽为400～1200mm，高度为300～1000mm；所述冷阱盘管腔室(2)的长度为1500～5000mm。

7.根据权利要求1所述的布置方式，其特征在于，所述冷阱盘管(10)为铜管，直径为8～16mm。

8.根据权利要求1所述的布置方式，其特征在于，所述镀膜工艺室(8)上设置有至少一个气体隔离室(7)。

9.一种新型连续镀膜线，其特征在于，所述真空镀膜线采用如权利要求1～8任一项所述的布置方式。

10.一种如权利要求9所述的新型连续镀膜线的工作方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一，打开所述第一阀门(4)，使用所述前级泵抽系统(1)对冷阱盘管腔室(2)进行预抽气；

步骤二，当所述冷阱盘管腔室(2)内部真空度到达5Pa时，打开第二阀门(6)，使所述冷阱盘管腔室(2)与所述镀膜工艺室(8)连通，使用所述镀膜工艺室(8)内的抽真空系统对所述冷阱盘管腔(2)室进行高真空抽气，使冷阱盘管腔室(2)获得真空；

步骤三，开启冷阱(3)对冷阱盘管(10)进行制冷，所述冷阱盘管腔室(2)内的冷阱盘管(10)进行高效吸附水汽，对镀膜工艺室(8)进行快速降低本底真空；

步骤四，当所述冷阱盘管(10)上吸附水汽较多结霜较多时，关闭所述第一阀门(4)和所述第二阀门(6)，打开第三阀门(5)，对所述冷阱盘管腔室(2)进行破空，将冷阱(3)调整到加热工作模式，并打开所述加热固定装置(21)对所述冷阱盘管(10)高温除霜。