[发明专利]乙硅烷的生产提纯工艺在审
| 申请号： | 202011274073.1 | 申请日： | 2020-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN112158847A | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 陈国富;龚施健;于胜;陈金彬;林海宁 | 申请（专利权）人： | 深圳市博纯半导体材料有限公司;博纯材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/04 | 分类号： | C01B33/04 |
| 代理公司： | 广州博士科创知识产权代理有限公司 44663 | 代理人： | 梁志标 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区福保街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种乙硅烷的生产提纯工艺，该乙硅烷的生产提纯工艺包括检测与所述反应釜连接的吸附管道的底面内壁上设置的压力感应器的在预设时间周期内的数值变化，所述反应釜上还设置有气体出口，将第一反应溶液和第二反应溶液进行化学反应生成的生成物利用气体出口通过导气管导入吸附管道内；根据所述数值变化，调节设置在第一进液口上的第一阀和设置在第二进液口上的第二阀，所述第一阀、所述第二阀和所述压力感应器分别与控制单元连接，所述控制单元设置在所述反应釜的外壁上，以调节所述反应釜内第一反应溶液和第二反应溶液的添加量。本发明可以提高乙硅烷的产出率其能够提高纯度。 | ||
| 搜索关键词： | 硅烷 生产 提纯 工艺 | ||
【主权项】：
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