[发明专利]一种单晶炉气密性的检测方法在审
| 申请号： | 202011259857.7 | 申请日： | 2020-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN114486107A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 马博;周泽;王林;张国栋;乌恩;郭志荣;王建平;阿古达木;钟旭 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/26 | 分类号： | G01M3/26;C30B15/00 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明揭露了一种单晶炉气密性的检测方法，包括关闭单晶炉的进气阀与排气阀；对单晶炉进行抽真空，且持续时间为T1，完毕后检测单晶炉内的实际压强；对比单晶炉内的实际压强变化量与标准压强变化量,若单晶炉内的实际压强变化量≥标准压强变化量，则保持单晶炉闭气，且持续时间为T2，完毕后再次检测单晶炉内的实际压强；再对比、判断单晶炉内的实际压强是否增大，如果否，则判定该单晶炉气密性良好，如果是，则判定该单晶炉气密性差；如此，本发明采用的检测方法能准确判断单晶炉气密性能的好坏，进而保护热场，保证拉制单晶的质量，保证产品的合格率，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 气密性 检测 方法 | ||
【主权项】：
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