[发明专利]一种单晶炉气密性的检测方法

权利要求书

1.一种单晶炉气密性的检测方法，其特征在于：包括

S1.关闭单晶炉的进气阀与排气阀；

S2.对单晶炉进行抽真空，且持续时间为T1，完毕后检测单晶炉内的实际压强；

S3.对比单晶炉内的实际压强变化量与标准压强变化量,若单晶炉内的实际压强变化量≥标准压强变化量，则直接执行步骤S4；

S4.保持单晶炉闭气，且持续时间为T2，完毕后再次检测单晶炉内的实际压强；

S5.对比、判断单晶炉内的实际压强是否增大，如果否，则判定该单晶炉气密性良好；如果是，则判定单晶炉气密性差。

2.根据权利要求1所述的单晶炉气密性的检测方法，其特征在于：

在上述步骤S3中，若单晶炉内的实际压强变化量＜标准压强变化量时，则执行步骤S6，所述步骤S6包括:

S61.继续抽真空，且持续时间为T3,完毕后检测单晶炉内的实际压强；

S62.对比单晶炉内的实际压强变化量与标准压强变化量，若单晶炉内的实际压强变化量≥标准压强变化量，则再依次执行步骤S4、S5。

3.根据权利要求2所述的单晶炉气密性的检测方法，其特征在于：在所述步骤S62中，所述实际压强变化量为T1+T3时间内单晶炉内的实际压强变化量，对应的，所述标准压强变化量为T1+T3时间内的标准压强变化量；或，所述实际压强变化量为T3时间内单晶炉内的实际压强变化量，对应的，所述标准压强变化量为T3时间内的标准压强变化量。

4.根据权利要求2或3所述的单晶炉气密性的检测方法，其特征在于：在所述步骤S62中，若单晶炉内的实际压强变化量＜标准压强变化量时，则判定该单晶炉的气密性差。

5.根据权利要求2至4任一项所述的单晶炉气密性的检测方法，其特征在于：所述T3≥T1。

6.根据权利要求5所述的单晶炉气密性的检测方法，其特征在于：所述T3设置为6-12min。

7.根据权利要求6所述的单晶炉气密性的检测方法，其特征在于：T3设置为7、8、9、10或11min。

8.根据权利要求1至7任一项所述的单晶炉气密性的检测方法，其特征在于：所述T1设置为4-8min。

9.根据权利要求8所述的单晶炉气密性的检测方法，其特征在于：所述T1设置为5、6或7min。

10.根据权利要求1至9任一项所述的单晶炉气密性的检测方法，其特征在于：所述T2≤T1；优选的，所述T2设置为3-5min。