[发明专利]一种单晶炉气密性的检测方法

说明书

本发明揭露了一种单晶炉气密性的检测方法，包括关闭单晶炉的进气阀与排气阀；对单晶炉进行抽真空，且持续时间为T1，完毕后检测单晶炉内的实际压强；对比单晶炉内的实际压强变化量与标准压强变化量,若单晶炉内的实际压强变化量≥标准压强变化量，则保持单晶炉闭气，且持续时间为T2，完毕后再次检测单晶炉内的实际压强；再对比、判断单晶炉内的实际压强是否增大，如果否，则判定该单晶炉气密性良好，如果是，则判定该单晶炉气密性差；如此，本发明采用的检测方法能准确判断单晶炉气密性能的好坏，进而保护热场，保证拉制单晶的质量，保证产品的合格率，降低生产成本。

技术领域

本发明涉及光伏产品制备技术领域，尤其涉及一种单晶炉气密性的检测方法。

背景技术

单晶炉为制备单晶晶棒的主要设备，单晶炉气密性差会严重影响单晶晶棒的成晶情况。若单晶炉气密性差，在单晶拉制过程中，空气会进入单晶炉，而进入单晶炉的空气会与热场在高温状态下发生反应，从而损坏热场，从而导致生产成本的增加；此外，空气中的氧气会参与单晶拉制过程，从而造成单晶氧含量偏高，进而诱发单晶微缺陷，影响单晶品质，影响产品合格率，进一步导致生成成本的增加。

为避免上述情况发生，单晶炉每次重新开炉时，在清理好单晶炉、装好原辅料、调试好设备，准备化料之前，都会检查单晶炉的气密性。当前行业内检查单晶炉气密性的方法是给单晶炉抽真空到极限，若单晶炉在这段时间内能被抽到极限压强，即单晶炉内的压强能足够低，则判定单晶炉的气密性良好；若单晶炉内的压强在该时间内不能达到足够低，则判定单晶炉的气密性差。

采用该种检测方法，对于漏气情况严重的单晶炉，该方法能检测出来，但是单晶炉在微弱漏气的情况下，若给单晶炉抽真空足够长时间，也能将炉内的压强抽到足够低，即是说当前传统的检测方法不能准确地判断单晶炉气密性能的好坏。

发明内容

本发明的目的在于克服上述缺点，提供一种单晶炉气密性的检测方法，其能准确判断单晶炉气密性能的好坏。

为实现上述目的，本发明所采用的技术方案是：

一种单晶炉气密性的检测方法，包括

S1.关闭单晶炉的进气阀与排气阀；

S2.对单晶炉进行抽真空，且持续时间为T1，完毕后检测单晶炉内的实际压强；

S3.对比单晶炉内的实际压强变化量与标准压强变化量,若单晶炉内的实际压强变化量≥标准压强变化量，则直接执行步骤S4；

S4.保持单晶炉闭气，且持续时间为T2，完毕后再次检测单晶炉内的实际压强；

S5.对比、判断单晶炉内的实际压强是否增大，如果否，则判定该单晶炉气密性良好；如果是，则判定单晶炉气密性差。

在上述步骤S3中，若单晶炉内的实际压强变化量＜标准压强变化量时，则执行步骤S6，所述步骤S6包括:

S61.继续抽真空，且持续时间为T3,完毕后检测单晶炉内的实际压强；

S62.对比单晶炉内的实际压强变化量与标准压强变化量，若单晶炉内的实际压强变化量≥标准压强变化量，则再依次执行步骤S4、S5。

在所述步骤S62中，所述实际压强变化量为T1+T3时间内单晶炉内的实际压强变化量，对应的，所述标准压强变化量为T1+T3时间内的标准压强变化量；或，所述实际压强变化量为T3时间内单晶炉内的实际压强变化量，对应的，所述标准压强变化量为T3时间内的标准压强变化量。

在所述步骤S62中，若单晶炉内的实际压强变化量＜标准压强变化量时，则判定该单晶炉的气密性差。

所述T3≥T1。

所述T3设置为6-12min。

T3设置为7、8、9、10或11min。