[发明专利]基板处理设备在审
| 申请号： | 202011201957.4 | 申请日： | 2020-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN112885692A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 文炯哲;郑元基 | 申请（专利权）人： | ASMIP私人控股有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 焦玉恒 |
| 地址： | 荷兰阿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种能够最小化下部空间中的填充气体对基板处理的影响的基板处理设备包括：基板支撑单元；围绕基板支撑单元的至少一个环；基板支撑单元上的处理单元；以及排气单元，其连接到基板支撑单元和处理单元之间的反应空间，其中反应空间中的第一气体通过第一通道传输到排气单元，基板支撑单元下方的下部空间中的第二气体通过第二通道传输到排气单元，并且第一通道和第二通道被至少一个环分离。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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