[发明专利]光刻机载片台清扫装置在审
| 申请号： | 202011169794.6 | 申请日： | 2020-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN112296018A | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 钟敏 | 申请（专利权）人： | 上海图双精密装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B15/04;B08B13/00;B08B3/02;B08B3/08;A61L2/18;A61L101/34 |
| 代理公司： | 上海汇齐专利代理事务所(普通合伙) 31364 | 代理人： | 朱明福 |
| 地址： | 200000 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了光刻机载片台清扫装置，包括清洁箱，所述清洁箱的下表面为开口结构，所述清洁箱的右、右侧壁分别开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内壁分别螺纹连接有螺纹顶丝，两个所述螺纹顶丝的相对端的延伸至清洁箱的内腔，所述螺纹顶丝的外表面螺纹连接有固定螺母。该光刻机载片台清扫装置，通过设置清洁箱和功能箱内部的吹风机构、吸尘机构和清洗机构组成的一套清扫装置，可以对光刻机载片台进行吹尘、吸尘和酒精清洗消毒的组合操作，通过设置清洁箱的下表面为开口结构，可以方便将清洁箱通过滑轮移动到载片台的上方位置，使得载片台位于清洁箱的内腔中，使得清洗环境处于半封闭的状态，提高了清扫的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 机载 清扫 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海图双精密装备有限公司，未经上海图双精密装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011169794.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
