[发明专利]光刻机载片台清扫装置

说明书

本发明公开了光刻机载片台清扫装置，包括清洁箱，所述清洁箱的下表面为开口结构，所述清洁箱的右、右侧壁分别开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内壁分别螺纹连接有螺纹顶丝，两个所述螺纹顶丝的相对端的延伸至清洁箱的内腔，所述螺纹顶丝的外表面螺纹连接有固定螺母。该光刻机载片台清扫装置，通过设置清洁箱和功能箱内部的吹风机构、吸尘机构和清洗机构组成的一套清扫装置，可以对光刻机载片台进行吹尘、吸尘和酒精清洗消毒的组合操作，通过设置清洁箱的下表面为开口结构，可以方便将清洁箱通过滑轮移动到载片台的上方位置，使得载片台位于清洁箱的内腔中，使得清洗环境处于半封闭的状态，提高了清扫的效果。

技术领域

本发明涉及清扫装置技术领域，具体为光刻机载片台清扫装置。

背景技术

光刻机又名掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，常用的光刻机是掩模对准光刻机，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序，光刻的意思是用光来制作一个图形工艺，在硅片表面匀胶，然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程，在芯片制造漫长的产业链中，光刻机是最为耀眼的明珠，它代表了人类科技发展的顶级水平(另一个是航空发动机)，它是芯片制造中必不可少的精密设备。

光刻机在光刻过程中，光刻机的载片台如果受到微尘污染，就可能导致产品局部损坏等问题，严重情况下甚至会造成产品报废，给企业带来经济损失。

为此，我们提供了光刻机载片台清扫装置。

发明内容

本发明的目的在于提供光刻机载片台清扫装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：光刻机载片台清扫装置，包括清洁箱，所述清洁箱的下表面为开口结构，所述清洁箱的右、右侧壁分别开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内壁分别螺纹连接有螺纹顶丝，两个所述螺纹顶丝的相对端的延伸至清洁箱的内腔，所述螺纹顶丝的外表面螺纹连接有固定螺母，所述螺纹顶丝远离固定螺母的一端通过转轴转动连接有固定块，所述固定块远离螺纹顶丝的一侧固定连接有橡胶块，两个所述橡胶块的相对面之间设置有载片台，所述清洁箱的上表面固定连接有功能箱，所述功能箱的内腔分别设置有吹风机构、吸尘机构和清洗机构，所述吹风机构包括固鼓风机，所述吸尘机构包括微型吸尘器，所述清洗机构包括喷雾瓶。

优选的，所述清洁箱左侧壁位于螺纹孔上部的位置开设有通孔，通孔的内壁固定连接有进风管，所述进风管的左侧进风端固定连接有第一橡胶软管，所述第一橡胶软管远离进风管的一端固定连接有出风管，所述出风管远离第一橡胶软管的一端贯穿功能箱的左侧壁且与鼓风机的出风端固定连接，所述进风管的出风端延伸至载片台左侧且靠近载片台上表面的位置。

优选的，所述清洁箱右侧壁靠近内顶壁的位置开设有通孔，通孔的内壁固定连接有第一吸气管，所述第一吸气管的左端贯穿清洁箱的右侧壁且固定连接有喇叭斗，所述第一吸气管远离喇叭斗的一端固定连接有第二橡胶软管，所述第二橡胶软管远离第一吸气管的一端固定连接有第二吸气管，所述第二吸气管的左端贯穿功能箱的右侧壁且与微型吸尘器的吸气端固定连接。

优选的，所述清洁箱的上表面开设有通孔，通孔的内壁固定连接有竖管，所述竖管的底部延伸至清洁箱的内腔且固定连接有喷雾管，所述喷雾管的下表面固定连接有喷雾头，所述喷雾头的数量为若干个，所述竖管的顶端固定连接有透明软管，所述透明软管远离竖管的一端与喷雾瓶的输出端固定连接，所述喷雾管位于载片台正上方的位置。

优选的，所述清洁箱的下表面四个角分别固定连接有连接杆，所述连接杆的底部通过转轴转动连接有滑轮。

优选的，所述功能箱的左侧外壁固定连接有开关面板，所述开关面板的外表面分别设置有鼓风机开关和微型吸尘器开关，所述开关面板和鼓风机、微型吸尘器均通过导线电性连接，所述开关面板通过电线插头连接外部供电。