[发明专利]光刻机载片台清扫装置

权利要求书

1.光刻机载片台清扫装置，包括清洁箱(1)，其特征在于：所述清洁箱(1)的下表面为开口结构，所述清洁箱(1)的右、右侧壁分别开设有螺纹孔(2)，所述螺纹孔(2)的内壁分别螺纹连接有螺纹顶丝(3)，两个所述螺纹顶丝(3)的相对端的延伸至清洁箱(1)的内腔，所述螺纹顶丝(3)的外表面螺纹连接有固定螺母(4)，所述螺纹顶丝(3)远离固定螺母(4)的一端通过转轴转动连接有固定块(5)，所述固定块(5)远离螺纹顶丝(3)的一侧固定连接有橡胶块(6)，两个所述橡胶块(6)的相对面之间设置有载片台(7)，所述清洁箱(1)的上表面固定连接有功能箱(8)，所述功能箱(8)的内腔分别设置有吹风机构、吸尘机构和清洗机构，所述吹风机构包括固鼓风机(9)，所述吸尘机构包括微型吸尘器(10)，所述清洗机构包括喷雾瓶(11)。

2.根据权利要求1所述的光刻机载片台清扫装置，其特征在于：所述清洁箱(1)左侧壁位于螺纹孔(2)上部的位置开设有通孔，通孔的内壁固定连接有进风管(12)，所述进风管(12)的左侧进风端固定连接有第一橡胶软管(13)，所述第一橡胶软管(13)远离进风管(12)的一端固定连接有出风管(14)，所述出风管(14)远离第一橡胶软管(13)的一端贯穿功能箱(8)的左侧壁且与鼓风机(9)的出风端固定连接，所述进风管(12)的出风端延伸至载片台(7)左侧且靠近载片台(7)上表面的位置。

3.根据权利要求1所述的光刻机载片台清扫装置，其特征在于：所述清洁箱(1)右侧壁靠近内顶壁的位置开设有通孔，通孔的内壁固定连接有第一吸气管(15)，所述第一吸气管(15)的左端贯穿清洁箱(1)的右侧壁且固定连接有喇叭斗(16)，所述第一吸气管(15)远离喇叭斗(16)的一端固定连接有第二橡胶软管(17)，所述第二橡胶软管(17)远离第一吸气管(15)的一端固定连接有第二吸气管(18)，所述第二吸气管(18)的左端贯穿功能箱(8)的右侧壁且与微型吸尘器(10)的吸气端固定连接。

4.根据权利要求1所述的光刻机载片台清扫装置，其特征在于：所述清洁箱(1)的上表面开设有通孔，通孔的内壁固定连接有竖管(19)，所述竖管(19)的底部延伸至清洁箱(1)的内腔且固定连接有喷雾管(20)，所述喷雾管(20)的下表面固定连接有喷雾头(21)，所述喷雾头(21)的数量为若干个，所述竖管(19)的顶端固定连接有透明软管(22)，所述透明软管(22)远离竖管(19)的一端与喷雾瓶(11)的输出端固定连接，所述喷雾管(20)位于载片台(7)正上方的位置。

5.根据权利要求1所述的光刻机载片台清扫装置，其特征在于：所述清洁箱(1)的下表面四个角分别固定连接有连接杆(23)，所述连接杆(23)的底部通过转轴转动连接有滑轮(24)。

6.根据权利要求1所述的光刻机载片台清扫装置，其特征在于：所述功能箱(8)的左侧外壁固定连接有开关面板(25)，所述开关面板(25)的外表面分别设置有鼓风机(9)开关和微型吸尘器(10)开关，所述开关面板(25)和鼓风机(9)、微型吸尘器(10)均通过导线电性连接，所述开关面板(25)通过电线插头连接外部供电。

7.根据权利要求1所述的光刻机载片台清扫装置，其特征在于：所述清洁箱(1)的正面通过阻尼转轴转动连接有第一柜门(26)，所述第一柜门(26)的外表面开设有观察窗(27)，所述第一柜门(26)背面的左、右两侧均固定连接有磁条，所述清洁箱(1)右、右内侧壁底部靠近第一柜门(26)的位置均固定连接有磁条，两组对应位置的磁条均磁性相吸。

8.根据权利要求1所述的光刻机载片台清扫装置，其特征在于：所述功能箱(8)的正面通过合页转动连接有第二柜门(28)，所述第二柜门(28)的数量为两个，所述第二柜门(28)的正面均开设有条形散热孔(30)，所述条形散热孔(30)的数量为八个，所述功能箱(8)的上表面通过转轴转动连接有把手(29)。

9.根据权利要求1所述的光刻机载片台清扫装置，其特征在于：所述喷雾瓶(11)的内腔盛放有酒精消毒液，所述微型吸尘器(10)的内部设置有空气滤芯。