[发明专利]一种集成电路精确测试小电阻的方法有效
| 申请号： | 202011160294.6 | 申请日： | 2020-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN112014643B | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 左上勇;袁常乐;王敏 | 申请（专利权）人： | 上海伟测半导体科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/08 | 分类号： | G01R27/08;G01R35/00;G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海领洋专利代理事务所(普通合伙) 31292 | 代理人： | 罗晓鹏 |
| 地址： | 201599 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种集成电路精确测试小电阻的方法，包括如下的基本模块：校准执行模块、校准结果分析处理模块、测试执行模块和测试结果分析处理模块。基于上述模块执行如下操作：配置电路到校准电路，并对ATE的参数测量单元进行相关参数设定；执行校准操作，并计算校准参考值；配置电路到精确测试电路中，并设定测试条件；执行测试操作，使用计算校准值对测试结果进行修订。本技术方案利用自动化测试设备的参数测量单元实施，可以完成高精度的小电阻测试，有效校正外围电路以及连接情况引入的测量误差，有效补偿外界环境引起的误差，并能够提升ATE的底噪；本发明的方法能够适配不同测试设备的ATE多种测量单元执行小电阻的测试，适用范围广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成电路 精确 测试 电阻 方法 | ||
【主权项】：
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