[发明专利]一种集成电路精确测试小电阻的方法

权利要求书

1.一种集成电路精确测试小电阻的方法，其特征在于，实现该方法至少包括校准执行模块、校准结果分析处理模块、测试执行模块、测试结果分析处理模块；其中，校准执行模块用于确定校准电阻并执行校准操作；校准结果分析处理模块用于分析校准结果并计算校准参考值；测试执行模块用于执行正常的测试需求，并设定测试条件，产生测试结果；测试结果分析处理模块用于对测试结果进行分析，并引入校准参考值对实际测试结果进行修正；

基于前述模块，至少包括如下步骤：

Step1：通过校准执行模块确定校准电阻，校准电阻值记作R₁；

Step2：结合step1确定的校准电阻，通过校准执行模块执行校准操作，配置电路到校准电路中进行校准，并对ATE的参数测量单元进行相关参数设定；

在该步骤中，对于ATE的参数测量单元设定的参数至少包括设定校准通道差分电压、设定校准通道最大允许的电流极限值以及测试电流I_校准的上下限，其中，设定校准通道差分电压的要求计算实际产品测试电流I_理论，则，校准通道差分电压的要求Vdiff1=I_理论*R₁；基于上述设定，校准执行模块执行校准操作方法至少包括：ATE的参数测量单元送出校准通道差分电压Vdiff1，并执行测试电流I_校准测试，当电流位于测试电流I_校准的上下限之间，判断测试及环境和外围电路无异常；反之，则需要检查测试及环境和外围电路或设定是否正确；

Step3：通过校准结果分析处理模块对校准结果进行分析并评估外围引入的测试电阻误差，计算校准参考值；外围引入测试电阻误差记作R₂ =Vdiff1/I_校准-R₁；

Step4：配置电路到实际的精确测试电路中，由测试执行模块执行正常的测试需求，并设定测试条件，产生实际测试结果，在该步骤中，设定的测试条件至少包括理论差分电压、设定校准通道最大允许的电流极限值、设定测试电流I_测试的上下限；其中理论差分电压Vdiff2=I_理论*R_理论；测试执行模块执行测试的方法至少包括：ATE的参数测量单元送出理论差分电压Vdiff2，并执行产品测试电流I_测试测试，当电流位于测试电流I_测试的上下限之间，判断测试及环境和外围电路无异常；反之，则需要检查测试及环境和外围电路或设定是否正确；

Step5：通过测试结果分析处理模块对Step4的实际测试结果进行分析并引入校准参考值对实际测试结果进行校准修正，根据产品实际测到的电流值计算实际产品的电阻R_测试=Vdiff2/I_测试-R₂。

2.如权利要求1所述的集成电路精确测试小电阻的方法，其特征在于，在步骤Step1中，校准电阻值根据实际测试的等效电阻选取电阻值相等或者近似的高精度电阻；对校准电阻的处理要求在电路焊接的时候精确测量其电阻值R₁，且在焊接后需要再次测量电阻值大小，以确定焊接状况良好。

3.如权利要求2所述的集成电路精确测试小电阻的方法，其特征在于，在步骤Step2中，具体的做法为：配置电路到校准电路，需要连接ATE的参数测量单元到ATE的校准单元系统中进行校准。

4.如权利要求3所述的集成电路精确测试小电阻的方法，其特征在于，在步骤Step4中，配置电路到实际精确测试电路中，需要连接ATE参数测量单元到ATE校准单元系统中进行测试。