[发明专利]一种集成电路精确测试小电阻的方法

说明书

本发明提供了一种集成电路精确测试小电阻的方法，包括如下的基本模块：校准执行模块、校准结果分析处理模块、测试执行模块和测试结果分析处理模块。基于上述模块执行如下操作：配置电路到校准电路，并对ATE的参数测量单元进行相关参数设定；执行校准操作，并计算校准参考值；配置电路到精确测试电路中，并设定测试条件；执行测试操作，使用计算校准值对测试结果进行修订。本技术方案利用自动化测试设备的参数测量单元实施，可以完成高精度的小电阻测试，有效校正外围电路以及连接情况引入的测量误差，有效补偿外界环境引起的误差，并能够提升ATE的底噪；本发明的方法能够适配不同测试设备的ATE多种测量单元执行小电阻的测试，适用范围广。

技术领域

本发明涉及集成电路测试领域，尤其涉及一种集成电路精确测试小电阻的方法。

背景技术

集成电路测试是对集成电路或模块进行检测，通过测量对集成电路的输出回应和预期输出比较，以确定或评估集成电路元器件功能和性能的过程，是验证设计、监控生产、保证质量、分析失效以及指导应用的重要手段。

集成电路的测试过程需要使用到测试仪，通常叫做自动化测试设备（AutomaticTest Equipment，ATE），而ATE的资源需要使用一系列的外围电路和硬件进行辅助，这些外围硬件和电路包括：测试负载板，测试转接板，探针卡,测试插座等。但是这些外围硬件和电路在让ATE通道和测试产品形成物理上的电气连接的同时，不可避免的在各个接触界面带入了接触电阻以及引入较长的电气连接通道。其中带入的接触电阻会严重影响实际产品的小电阻值的测试，甚至会造成整个电气回路的接触电阻远大于产品的电阻值。

此外，长电气连接通道会比较容易受到外界电磁的耦合效应而造成测试不稳定。

因此，基于上述技术，本领域技术人员致力于提供一种集成电路精确测试小电阻的系统和方法，以解决前述问题。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种集成电路精确测试小电阻的方法，利用自动化测试设备的参数测量单元执行该方法可以完成高精度的小电阻测试，且可以有效校正外围电路以及连接情况引入的测量误差，以解决背景技术中的问题。

为了解决上述问题，本发明提供一种集成电路精确测试小电阻的方法，实现该方法至少包括校准执行模块、校准结果分析处理模块、测试执行模块、测试结果分析处理模块；其中，校准执行模块用于确定校准电阻并执行校准操作；校准结果分析处理模块用于分析校准结果并计算校准参考值；测试执行模块用于执行正常的测试需求，并设定测试条件，产生测试结果；测试结果分析处理模块用于对测试结果进行分析，并引入校准参考值对实际的测试结果进行修正。基于前述模块，至少包括如下步骤：

Step1：通过校准执行模块确定校准电阻；

Step2：结合Step1确定的校准电阻，通过校准执行模块执行校准操作，配置电路到校准电路进行校准，并对ATE的参数测量单元进行相关参数设定；

Step3：通过校准结果分析处理模块对校准结果进行分析并评估外围引入的测试电阻误差，计算校准参考值；

Step4：配置电路到实际精确测试电路中，由测试执行模块执行正常的测试需求，并设定测试条件，产生实际测试结果；

Step5：通过测试结果分析处理模块对Step4的实际测试结果进行分析并引入校准参考值对实际测试结果进行校准修正。

进一步的，在步骤Step1中，校准电阻值根据实际测试的等效电阻选取电阻值相等或者近似的高精度电阻；对校准电阻的处理要求在电路焊接的时候精确测量其电阻值R₁，且在焊接后需要再次测量电阻值大小，以确定焊接状况良好。

进一步的，在步骤Step2中，配置电路到校准电路，需要连接ATE的参数测量单元到ATE的校准单元系统中进行校准。