[发明专利]一种套刻标识图像处理方法及装置在审
| 申请号： | 202011124101.1 | 申请日： | 2020-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN112258468A | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 张利斌;韦亚一;冯耀斌;陆聪 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T5/00;G06T7/33;G06T7/11;G06T7/13 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 柳虹 |
| 地址： | 100029 北京市朝阳*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供了一种套刻标识图像处理方法及装置，套刻标识图像可以包括第一图形和第二图形，第一图形和第二图形套叠设置，对套刻标识图像进行识别，确定第一图形所在的第一区域和第二图形所在的第二区域，在第一区域和第二区域满足图像对比度条件时，对第一区域和/或第二区域进行随机误差修正处理，以降低第一区域和/或第二区域的噪声，基于修正后的套刻标识图像计算第一图形和第二图形之间的套刻误差。由于第一区域和/或第二区域经过随机误差修正处理，其中的噪声被抑制，利于对第一图形和第二图形的准确的边缘识别，从而提高套刻误差的计算准确性，提高套刻机台的使用效率，提升了对工艺波动和工艺误差的容差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 标识 图像 处理 方法 装置 | ||
【主权项】：
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