[发明专利]一种套刻标识图像处理方法及装置在审

专利信息
申请号: 202011124101.1 申请日: 2020-10-20
公开(公告)号: CN112258468A 公开(公告)日: 2021-01-22
发明(设计)人: 张利斌;韦亚一;冯耀斌;陆聪 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所;长江存储科技有限责任公司
主分类号: G06T7/00 分类号: G06T7/00;G06T5/00;G06T7/33;G06T7/11;G06T7/13
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 柳虹
地址: 100029 北京市朝阳*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 标识 图像 处理 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种套刻标识图像处理方法,其特征在于,所述方法包括:

获取套刻标识图像,所述套刻标识图像包括第一图形和第二图形,所述第一图形和所述第二图形套叠设置;

对所述套刻标识图像进行识别,确定所述第一图形所在的第一区域和所述第二图形所在的第二区域;

在所述第一区域和所述第二区域满足图像对比度条件时,对所述第一区域和/或所述第二区域进行随机误差修正处理,以降低所述第一区域和/或所述第二区域的噪声;

基于修正后的套刻标识图像计算所述第一图形和所述第二图形之间的套刻误差。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述对比度条件包括所述第一区域的图像对比度大于或等于第一对比度阈值,且所述第二区域的图像对比度大于或等于第二对比度阈值,在对所述第一区域和/或所述第二区域进行随机误差修正处理之前,还包括:

若所述第一区域的图像对比度小于所述第一对比度阈值,则对所述第一区域进行对比度提升处理;和/或,

若所述第二区域的图像对比度小于所述第二对比度阈值,则对所述第二区域进行对比度提升处理。

3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述第一对比度阈值和所述第二对比度阈值为10%。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的方法,其特征在于,对所述套刻标识图像进行识别,确定所述第一图形所在的第一区域和所述第二图形所在的第二区域,包括:对所述套刻标识图像进行分割,得到所述第一图形所在的第一区域和所述第二图形所在的第二区域;

则所述对所述第一区域和/或所述第二区域进行随机误差修正处理后,还包括:对第一区域和第二区域进行拼接得到修正后的套刻标识图像。

5.根据权利要求1-3任意一项所述的方法,其特征在于,所述套刻标识图像为盒式套叠型、线条套叠型或先进影像量测型。

6.根据权利要求1-3任意一项所述的方法,其特征在于,所述第一套刻图形和所述第二套刻图形的套刻误差为所述第一套刻图形和所述第二套刻图形的重心偏移量。

7.一种套刻标识图像处理装置,其特征在于,所述装置包括:

图像获取单元,用于获取套刻标识图像,所述套刻标识图像包括第一图形和第二图形,所述第一图形和所述第二图形套叠设置;

区域获取单元,用于对所述套刻标识图像进行识别,确定所述第一图形所在的第一区域和所述第二图形所在的第二区域;

修正处理单元,用于在所述第一区域和所述第二区域满足图像对比度条件时,对所述第一区域和/或所述第二区域进行随机误差修正处理,以降低所述第一区域和/或所述第二区域的噪声;

误差计算单元,用于基于修正后的套刻标识图像计算所述第一图形和所述第二图形之间的套刻误差。

8.根据权利要求7所述的装置,其特征在于,所述对比度条件包括所述第一区域的图像对比度大于或等于第一对比度阈值,且所述第二区域的图像对比度大于或等于第二对比度阈值,所述装置还包括:

对比度提升处理单元,用于在对所述第一区域和/或所述第二区域进行随机误差修正处理之前:

若所述第一区域的图像对比度小于所述第一对比度阈值,则对所述第一区域进行对比度提升处理;和/或,若所述第二区域的图像对比度小于所述第二对比度阈值,则对所述第二区域进行对比度提升处理。

9.根据权利要求7或8所述的装置,其特征在于,所述区域获取单元具体用于:对所述套刻标识图像进行分割,得到所述第一图形所在的第一区域和所述第二图形所在的第二区域;

则所述装置还包括:拼接单元,用于在对所述第一区域和/或所述第二区域进行随机误差修正处理后,对第一区域和第二区域进行拼接得到修正后的套刻标识图像。

10.根据权利要求7或8所述的方法,其特征在于,所述第一套刻图形和所述第二套刻图形的套刻误差为所述第一套刻图形和所述第二套刻图形的重心偏移量。

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