[发明专利]一种半导体生产用空气净化装置有效
| 申请号： | 202011087224.2 | 申请日： | 2020-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN111921287B | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 李松和;刘军;刘瑞欣;林明青 | 申请（专利权）人： | 托特半导体（山东）有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/00 | 分类号： | B01D46/00;B01D53/00;B08B15/04 |
| 代理公司： | 北京化育知识产权代理有限公司 11833 | 代理人： | 尹均利 |
| 地址： | 271000 山东省泰安市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公布了一种半导体生产用空气净化装置，其包括，净化壳体、传动进风机构、切换进风机构，所述的净化壳体为长方体结构，传动进风机构、切换进风机构安装于净化壳体内，净化壳体内设置有进风管、净化器、排风管，进风管呈水平布置，进风管的两端与外界连通，进风管上接通有连接壳体，连接壳体靠近净化壳体的一侧，连接壳体上接通有连通管，当通风壳体二处于打开状态时，进风管内气体经进风管的另一端部排出，从而除去杂质气体，挡块一、挡块二与连接板相抵时，能够减缓连接板的移动速度，从而减缓通风壳体一、通风壳体二的启闭速度，因此能够将杂质气体经进气管排尽。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 生产 空气净化 装置 | ||
【主权项】：
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