[发明专利]蒸镀用掩模以及有机EL显示面板的制造方法在审
| 申请号： | 202011083653.2 | 申请日： | 2020-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN112662992A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 杉本晃 | 申请（专利权）人： | 株式会社日本有机雷特显示器 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56;H01L27/32 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 王玉玲;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种掩模，在与能够追加开口的显示面板的显示区域外对应的蒸镀用掩模尤其是用于形成评价用试验片的蒸镀用掩模中，即使施加拉伸应力，也难以发生开口的变形以及位置的移动。所述蒸镀用掩模在制造显示面板时的气相生长工序中使用，在为了在所述显示面板的显示区域外侧的面板表面形成质量管理用的图案而在第一方向上施加张力的状态下使用，是在所述第一方向上为长条的形状，其具备：一个以上的第一区域，形成有第一开口；以及一个以上的第二区域，在所述第一方向上与所述第一区域相邻，形成有一个以上的第二开口，所述第二开口的与所述第一方向正交的第二方向上的宽度小于所述第一开口，在所述第二方向上为长条。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀用掩模 以及 有机 el 显示 面板 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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